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龙图腾网获悉南京埃米仪器科技有限公司申请的专利大翘曲晶圆吸附装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120033138B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510519075.9，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权大翘曲晶圆吸附装置是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本大翘曲晶圆吸附装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种大翘曲晶圆吸附装置，包括基座、固定座和吸附平台，固定座连接基座与吸附平台，还包括自适应密封管、升降组件和晶圆牵引机构，自适应密封管设置在吸附平台上，升降组件设置基座上，晶圆牵引机构通过牵引机构安装架与升降组件连接，晶圆牵引机构在升降组件作用下可控升降，下降后的晶圆与自适应密封管贴合，自适应密封管自动适应晶圆表面的翘曲。优点，利用结构简单且尺寸小的升降组件带动晶圆牵引机构上下移动，晶圆牵引机构拉动晶圆上下运动，晶圆下移时自适应密封管自动适应晶圆的翘曲，与吸附平台上的真空吸附腔组成密封性好的负压腔室，利用负压对晶圆的位置进行固定，装置整体结构简单、使用成本低适用大翘曲晶圆的固定。

本发明授权大翘曲晶圆吸附装置在权利要求书中公布了：1.一种大翘曲晶圆吸附装置，包括基座（1）、固定座（2）和吸附平台（3），所述固定座（2）设置在基座（1）与吸附平台（3）之间，连接基座（1）与吸附平台（3），其特征在于：还包括自适应密封管（4）、升降组件（6）和晶圆牵引机构（8），自适应密封管（4）设置在吸附平台（3）上，升降组件（6）设置在基座（1）上，用于拉动晶圆移动的晶圆牵引机构（8）通过牵引机构安装架（7）与升降组件（6）连接，所述晶圆牵引机构（8）在升降组件（6）作用下可控升降，下降后的晶圆表面与自适应密封管（4）贴合，与吸附平台（3）组成吸附晶圆的空腔，所述自适应密封管（4）自动适应贴合翘曲的晶圆，并将其吸附平整； 吸附平台（3）包括真空吸附腔（31），在真空吸附腔（31）内设置有微孔陶瓷板（5），微孔陶瓷板（5）放置在真空吸附腔（31）内，微孔陶瓷板（5）表面与吸附平台（3）表面平齐； 升降组件（6）包括伸缩气缸（61）和升降推杆（62），升降推杆（62）一端与牵引机构安装架（7）连接，另一端设置有引导轮（63），伸缩气缸（61）设置在基座（1）上，在伸缩气缸（61）上设置有楔形导向块（64），楔形导向块（64）与升降推杆（62）另一端的引导轮（63）活动配合，所述升降推杆（62）在楔形导向块（64）作用下升降； 晶圆牵引机构（8）包括牵引杆（81），所述牵引杆（81）一端与牵引机构安装架（7）中移动架（72）连接，牵引杆（81）的另一端固定有吸盘（82），牵引杆（81）通过所述吸盘（82）与晶圆接触。

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