索泰克公司迪迪埃·朗德吕获国家专利权
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龙图腾网获悉索泰克公司申请的专利将有用层转移到载体衬底的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113491005B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080016818.6，技术领域涉及：H01L21/762；该发明授权将有用层转移到载体衬底的方法是由迪迪埃·朗德吕;O·科农丘克;纳迪娅·本默罕默德设计研发完成，并于2020-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本将有用层转移到载体衬底的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种将有用层转移到载体衬底上的方法，包括以下步骤：a提供包括埋置弱化面的施主衬底，有用层由施主衬底的正面和埋置弱化面来界定；b提供载体衬底；c由施主衬底的正面将施主衬底沿接合界面结合到载体衬底以形成接合结构；d对接合结构进行退火，以对接合结构施加弱化热预算并使埋置弱化面达到限定的弱化程度；e通过向接合结构施加应力来在所述埋置弱化面中引发分裂波，分裂波以自维持的方式沿着埋置弱化面传播，以造成有用层被转移到载体衬底。转移方法特征在于当接合结构经受150℃至250℃之间的温度时，引发分裂波。
本发明授权将有用层转移到载体衬底的方法在权利要求书中公布了：1.一种将有用层3转移到载体衬底4上的转移方法，所述转移方法包括以下步骤： a提供包括埋置弱化面2的施主衬底1，所述有用层3由所述施主衬底1的正面1a和所述埋置弱化面2来界定； b提供载体衬底4； c由所述施主衬底1的所述正面1a将所述施主衬底1沿接合界面7结合到所述载体衬底4以形成接合结构5； d通过对所述接合结构5施加弱化热预算并使所述埋置弱化面2达到限定的弱化程度，来在所述埋置弱化面2中不引发分裂波的情况下对所述接合结构5进行退火，所述弱化热预算在造成在所述退火期间在所述埋置弱化面2中自发引发所述分裂波的分裂热预算之下； e在对所述接合结构5进行退火之后，通过向所述接合结构5施加应力来在所述埋置弱化面2中引发所述分裂波，所述分裂波以自维持的方式沿着所述埋置弱化面2传播，以造成所述有用层3被转移到所述载体衬底4； 所述转移方法的特征在于： 当所述接合结构5至少在其最热区域中经受150℃至250℃之间的温度时，引发所述分裂波。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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