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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利载置台和基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112349645B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010760225.2，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权载置台和基板处理装置是由佐竹大辅设计研发完成，并于2020-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本载置台和基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供载置台和基板处理装置。防止载置台所使用的粘接层的消耗。载置台具有：晶圆载置部，其具有载置晶圆的载置面，并形成有第1贯通孔；基台，其利用第1粘接层与所述晶圆载置部的背面粘接，并形成有与所述第1贯通孔连通的第2贯通孔，该第2贯通孔具有比所述第1贯通孔的孔径大的孔径；筒状的套筒，其以能够与密封构件一起相对于所述基台拆卸的方式设于所述第2贯通孔的内部；以及所述密封构件，其以与所述第1粘接层分离开的方式设于所述晶圆载置部的背面与所述套筒之间，而密封所述第1粘接层，以沿着所述套筒的顶端的外周和内周中的至少任一者延伸的方式在所述套筒的周向上形成有凸部，所述密封构件被所述套筒的顶端推压而伸缩。

本发明授权载置台和基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种载置台，其中， 该载置台具有： 晶圆载置部，其具有载置晶圆的载置面，并形成有第1贯通孔； 基台，其利用第1粘接层与所述晶圆载置部的背面粘接，并形成有与所述第1贯通孔连通的第2贯通孔，该第2贯通孔具有比所述第1贯通孔的孔径大的孔径； 筒状的套筒，其以能够与O型密封圈一起相对于所述基台拆卸的方式设于所述第2贯通孔的内部；以及 所述O型密封圈，其以与所述第1粘接层分离开的方式设于所述晶圆载置部的背面与所述套筒之间，而密封所述第1粘接层， 以沿着所述套筒的顶端的外周延伸的方式在所述套筒的周向上与所述套筒一体地形成有凸部， 所述凸部的内侧面具有以所述凸部的上部处于比所述凸部的下部靠内侧的位置的方式倾斜的槽， 所述O型密封圈被所述套筒的顶端面推压而伸缩， 所述套筒具有第1套筒和设于所述第1套筒的外侧的第2套筒， 其中，所述第1套筒的下端和所述第2套筒的下端分别以截面成为L字形状的方式在所述第1套筒的下部和所述第2套筒的下部突出， 在所述第1套筒的下部和所述第2套筒的下部突出的所述第1套筒的下端和所述第2套筒的下端插入并嵌合到所述基台的台阶中，并且 所述第1套筒的上端和所述第2套筒的上端都设置在所述第2贯通孔内。

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