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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利垂向缩放误差的校准装置及校准方法、光刻设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114690579B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011630468.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权垂向缩放误差的校准装置及校准方法、光刻设备是由张静静设计研发完成，并于2020-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本垂向缩放误差的校准装置及校准方法、光刻设备在说明书摘要公布了：本发明实施例公开了一种垂向缩放误差的校准装置及校准方法、光刻设备，该校准装置包括工装结构、第一测量模块和拟合计算模块；工装结构设置于所述工件台中；工装结构的各对位台阶的台阶面之间具有高度差，且每个对位台阶的台阶面设置有对位标记；第一测量模块对准位于其对准测量区域内的对位台阶的对位标记，并反馈对准测量信号至拟合计算模块；所述拟合计算模块在工件台位于各预设位置时，一一对应地获取垂向测量装置测得的工件台的高度测量数据，并根据各高度测量数据和各对准测量信号，以预设拟合公式进行拟合计算，确定垂向测量装置的垂向缩放误差。本发明实施例能够提高垂向测量装置对工件台的垂向高度的测量准确性。

本发明授权垂向缩放误差的校准装置及校准方法、光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种垂向缩放误差的校准装置，用于校准垂向测量装置的垂向缩放误差，其特征在于，所述垂向测量装置用于测量工件台的在第一方向上的高度，所述第一方向为垂直于所述工件台的基底放置面的方向；所述校准装置包括：工装结构、第一测量模块和拟合计算模块； 所述工装结构设置于所述工件台中；所述工装结构包括多个对位台阶，且在所述第一方向上，任意两个所述对位台阶的台阶面之间具有高度差；每个所述对位台阶的台阶面设置有对位标记；其中，所述工件台以预设顺序依次运动至各预设位置，以使各所述对位台阶的对位标记以所述预设顺序依次位于所述第一测量模块的对准测量区域； 所述第一测量模块用于对准位于所述对准测量区域内的所述对位台阶的对位标记，并反馈对准测量信号至所述拟合计算模块； 所述拟合计算模块用于在所述工件台位于各所述预设位置时，一一对应地获取所述垂向测量装置测得的所述工件台的高度测量数据，并根据各所述高度测量数据和各所述对准测量信号，以预设拟合公式进行拟合计算，确定所述垂向测量装置的垂向缩放误差； 其中，所述预设拟合公式为所述高度测量数据之间的差值与所述对位台阶的台阶面之间的高度差的线性拟合关系式或者所述高度测量数据与所述对准测量信号之间的线性拟合关系式。

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