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龙图腾网获悉胜高股份有限公司申请的专利使用卧式热处理炉的硅晶圆的热处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115699258B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180039785.1，技术领域涉及：H01L21/22；该发明授权使用卧式热处理炉的硅晶圆的热处理方法是由桑野嘉宏设计研发完成，并于2021-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本使用卧式热处理炉的硅晶圆的热处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种使用卧式热处理炉的硅晶圆的热处理方法，其抑制配置在为了晶圆设置区域的温度均一化设置的虚设块附近的硅晶圆的寿命值下降，能够提高成品率。使用本发明的卧式热处理炉100的硅晶圆的热处理方法中，在圆筒形状的炉芯管12内配置小船16，此时，配置小船16上的在第1虚设块18S与晶圆组WF之间配置的第1附加块20S、及在第2虚设块18H与晶圆组WF之间配置的第2附加块20H中的至少一者。

本发明授权使用卧式热处理炉的硅晶圆的热处理方法在权利要求书中公布了：1.一种使用卧式热处理炉的硅晶圆的热处理方法，准备卧式热处理炉，所述卧式热处理炉具有：圆筒形状的炉芯管，具有横向的中心轴；及加热器，位于所述炉芯管周围，加热所述炉芯管，在所述炉芯管一端部设置盖子，所述炉芯管的另一端部设置气体导入口，所述炉芯管的所述盖子附近的炉壁上设置气体排气口， 在将接近所述炉芯管的所述盖子的一侧作为炉口侧，将接近所述炉芯管的所述气体导入口的一侧作为炉尾侧时，打开所述盖子，在所述炉芯管内，配置小船以成为以下A～C的状态， A在所述小船上，以主表面与所述炉芯管的中心轴正交的方式排列有多片硅晶圆，形成晶圆组， B在所述小船上的比所述晶圆组更靠炉尾侧配置具有与所述炉芯管的中心轴平行的轴的圆柱形状的第1虚设块，在比所述晶圆组更靠炉口侧配置具有与所述炉芯管的中心轴平行的轴的圆柱形状的第2虚设块， C配置所述小船上的在所述第1虚设块与所述晶圆组之间配置的第1附加块、及在所述第2虚设块与所述晶圆组之间配置的第2附加块中的至少一者，关于所述第1及第2附加块，i向垂直于所述炉芯管中心轴的虚拟面的投影形状包含所述第1及第2虚设块以及所述多片硅晶圆向所述虚拟面的投影形状，是具有与所述炉芯管中心轴平行的轴的柱形状，且iiFe的浓度小于1×1011atomscm3，Ni及Cu的浓度分别小于5×1010atomscm3， 关闭所述盖子， 从所述气体导入口向所述炉芯管内导入气体，从所述气体排气口排出所述气体的同时，通过所述加热器加热所述炉芯管，由此对所述多片硅晶圆实施热处理。

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