南亚科技股份有限公司王承宏获国家专利权
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龙图腾网获悉南亚科技股份有限公司申请的专利曝光机的操作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114624961B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110306971.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权曝光机的操作方法是由王承宏;徐嘉祥设计研发完成，并于2021-03-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本曝光机的操作方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种曝光机的操作方法，包括在晶圆的第一层上执行曝光，其中曝光的步骤依序地执行于覆盖第一层的多个第一曝光区域上；在晶圆的第二层上执行曝光，其中第二层在第一层上，曝光的步骤依序地执行于覆盖第一层的多个第二曝光区域上；以及在覆盖晶圆的第三曝光区域上执行曝光，且第三曝光区域对应的曝光能量为零。借此，本发明的曝光机的操作方法，通过在相邻的两个曝光步骤之间安插虚拟曝光的步骤，可降低第一层及第二层对应的图案之间的叠对误差。此外，通过这样的方式，使曝光的工艺可适用于不同曝光机机型，避免因曝光的起始位置及结束位置不同而增加叠对误差。
本发明授权曝光机的操作方法在权利要求书中公布了：1.一种曝光机的操作方法，其特征在于，包括： 在晶圆的第一层上执行曝光，其中曝光的步骤依序地执行于覆盖所述第一层的多个第一曝光区域上； 在所述晶圆的第二层上执行曝光，其中所述第二层在所述第一层上，曝光的步骤依序地执行于覆盖所述第一层的多个第二曝光区域上；以及 在覆盖所述晶圆的第三曝光区域上执行曝光，且所述第三曝光区域对应的曝光能量为零，其中在所述第三曝光区域执行曝光以及在所述多个第一曝光区域执行曝光时具有相同的聚焦深度，所述多个第一曝光区域与所述第三曝光区域最相邻的一个与所述第三曝光区域的间距小于两个相邻的所述第一曝光区域的间距。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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