株式会社斯库林集团秋山胜哉获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理方法及衬底处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113451113B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110313531.6，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权衬底处理方法及衬底处理装置是由秋山胜哉;吉田幸史设计研发完成，并于2021-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理方法及衬底处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种衬底处理方法及衬底处理装置。衬底处理方法包含：亲水化步骤，使衬底的表面亲水化；处理液供给步骤，向已亲水化的所述衬底的表面供给处理液；处理膜形成步骤，使供给至所述衬底的表面的所述处理液固化或硬化，在所述衬底的表面形成保持所述衬底的表面所存在的去除对象物的处理膜；及剥离步骤，向所述衬底的表面供给剥离液，将保持着所述去除对象物的状态的所述处理膜从所述衬底的表面剥离。所述剥离步骤包含使所述处理膜部分溶解于所述剥离液，而在所述处理膜形成贯通孔的贯通孔形成步骤。
本发明授权衬底处理方法及衬底处理装置在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理方法，包含： 亲水化步骤，使衬底的表面亲水化； 处理液供给步骤，向已亲水化的所述衬底的表面供给处理液； 处理膜形成步骤，使供给至所述衬底的表面的所述处理液固化或硬化，在所述衬底的表面形成保持所述衬底的表面所存在的去除对象物的处理膜；及 剥离步骤，向所述衬底的表面供给剥离液，将保持着所述去除对象物的状态的所述处理膜从所述衬底的表面剥离；且 所述剥离步骤包含使所述处理膜部分溶解于所述剥离液，而在所述处理膜形成贯通孔的贯通孔形成步骤， 所述亲水化步骤包含降低纯水在所述衬底的表面的接触角，使所述接触角小于41.7°的接触角降低步骤， 纯水在所述处理膜上的接触角大于52°且小于61°。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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