东莞市鹰眼在线电子科技有限公司陈鸣获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市鹰眼在线电子科技有限公司申请的专利一种晶圆贴装供料设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113161276B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110394325.2,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权一种晶圆贴装供料设备是由陈鸣;陈洁;丁晓华;周翔设计研发完成,并于2021-04-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆贴装供料设备在说明书摘要公布了:本申请提供一种晶圆贴装供料设备包括基座,所述基座具有首端和尾端;扩膜装置,可升降地连接于所述基座尾端;上压板组件,所述上压板组件设于所述基座上;薄膜载具,所述薄膜载具滑动连接于所述上压板组件;夹取装置,所述夹取装置滑动连接于所述基座上,并在所述首端至尾端的位置来回滑动;本申请中,通过将所述抓取装置与所述扩膜装置和所述上压板组件设置成一体结构,使得所述抓取装置有可以在所述上压板组件与所述扩膜装置之间移动穿梭,且规避了所述上压板组件需要开口放料的问题,保证了扩膜张力的均衡性,同时解决了传统设计中将所述夹取装置外置设计的问题,减少了所述抓取装置占用空间,提高了所述晶圆贴装供料设备的工作效率。
本发明授权一种晶圆贴装供料设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆贴装供料设备,包括: 基座,所述基座具有首端和尾端; 扩膜装置,可升降地连接于所述尾端; 上压板组件,所述上压板组件设于所述基座上; 薄膜载具,所述薄膜载具滑动连接于所述上压板组件; 夹取装置,所述夹取装置滑动连接于所述基座上,并在所述首端至尾端的位置来回滑动;所述夹取装置包括夹持悬臂、悬臂固定件、夹取机构,所述悬臂固定件沿着所述首端至所述尾端的方向与所述基座滑动连接,所述夹持悬臂安装于所述悬臂固定件上,所述夹取机构安装于所述夹持悬臂上,所述夹取机构用以夹持所述薄膜载具; 当所述夹取装置滑动至所述首端时,所述薄膜载具滑动至与所述扩膜装置正对的位置,所述夹取装置与所述薄膜载具分离,所述上压板组件下降,所述扩膜装置上升至靠近所述薄膜载具的位置进行扩膜工作; 当所述扩膜装置下降远离所述薄膜载具时,所述上压板组件上升,所述夹取装置夹取所述薄膜载具,并从所述首端滑动至所述尾端,以将所述薄膜载具送离所述上压板组件。
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