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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利光电器件界面缺陷表征方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115267464B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110410672.X，技术领域涉及：G01R31/26；该发明授权光电器件界面缺陷表征方法及装置是由陈圣迪;陶科;贾锐;姜帅;李星;金智设计研发完成，并于2021-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本光电器件界面缺陷表征方法及装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种光电器件界面缺陷表征方法及装置，解决了现有技术中光电器件界面处缺陷不能无损检测的技术问题。本发明的方法包括：建立待测光电器件的等效电路模型；在设定的直流偏压下，根据设定的温度范围及温度步长，在每个温度下，变化待测光电器件两端交流电压的角频率，利用所述等效电路模型，获取所述光电器件总电容随所述角频率变化的测试曲线，得到不同温度下的特征频率；根据所述不同温度下的特征频率，线性拟合得到直线斜率；根据所述直线斜率，获取所述光电器件的激活能和俘获界面，根据所述激活能和俘获界面表征光电器件的界面缺陷，实现对光电器件的无损检测。

本发明授权光电器件界面缺陷表征方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种光电器件界面缺陷表征方法，其特征在于，包括： 建立待测光电器件的等效电路模型； 在设定的直流偏压下，根据设定的温度范围及温度步长，在每个温度下，变化待测光电器件两端交流电压的角频率，利用所述等效电路模型，获取所述光电器件总电容随所述角频率变化的测试曲线，得到不同温度下的特征频率； 根据所述不同温度下的特征频率，线性拟合得到直线斜率； 根据所述直线斜率，获取所述光电器件的激活能和俘获界面，根据所述激活能和俘获界面表征光电器件的界面缺陷； 在无光条件下，设定待测光电器件两端直流偏压和所述温度范围及温度步长，所述温度为华氏温度； 所述得到不同温度下的特征频率，包括： 在每个温度下，在所述待测光电器件两端设定的直流偏压下，通过变化待测光电器件两端交流电压的角频率，利用所述等效电路模型，获取所述光电器件总电容随所述角频率变化的曲线，得到交流电压的角频率趋近于无穷大时对应的总电容； 根据所述曲线和所述交流电压的角频率趋近于无穷大时对应的总电容，绘制曲线，所述曲线极值点处的角频率为所述温度下对应的特征频率； 其中，线性拟合得到直线斜率包括：根据所述每个温度T和所对应的特征频率，拟合得到直线，计算所述直线斜率； 根据所述直线斜率，获取所述光电器件的激活能和俘获界面，包括： 基于所述和温度T的理论关系，以及所述直线斜率得到所述激活能，所述直线对应的在轴上的截距为所述俘获界面。

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