青岛芯笙微纳电子科技有限公司田伟获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛芯笙微纳电子科技有限公司申请的专利一种MEMS热温差式流量传感器及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115218975B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110410006.6，技术领域涉及：G01F1/684；该发明授权一种MEMS热温差式流量传感器及其制作方法是由田伟;胡国庆设计研发完成，并于2021-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS热温差式流量传感器及其制作方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种MEMS热温差式流量传感器及其制作方法，该流量传感器包括：衬底，设有隔热腔体；介质层，形成于衬底及隔热腔体的上表面；微加热器及热敏电阻，形成于介质层的上表面，且微加热器及热敏电阻局部位于隔热腔体的上方；铂黑，至少覆盖部分微加热器及热敏电阻。本发明所公开的流量传感器制备过程简单，可控性强，兼容性高；通过在微加热器及热敏电阻上形成铂黑，有利于增大其表面积，从而加快与气体分子之间的换热效率，提高器件的灵敏度；此外，表面积的增大还有利于提高微加热器的热利用率，从而起到降低功耗的作用。
本发明授权一种MEMS热温差式流量传感器及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS热温差式流量传感器，其特征在于，包括： 衬底，设有隔热腔体； 介质层，形成于衬底及隔热腔体的上表面； 微加热器及热敏电阻，形成于介质层的上表面，且微加热器及热敏电阻局部位于隔热腔体的上方； 铂黑，通过电镀的方法形成微孔状结构，至少覆盖部分微加热器及热敏电阻。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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