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卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司D.蔡德勒获国家专利权

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龙图腾网获悉卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司申请的专利具有多源系统和多射束粒子显微镜的粒子束系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115917699B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180041139.9,技术领域涉及:H01J37/073;该发明授权具有多源系统和多射束粒子显微镜的粒子束系统是由D.蔡德勒;H.弗里茨;I.米勒设计研发完成,并于2021-05-17向国家知识产权局提交的专利申请。

具有多源系统和多射束粒子显微镜的粒子束系统在说明书摘要公布了:本发明揭露一种具多源系统的粒子束系统。该多源系统包含电子发射器阵列,其作为一粒子多源。在此多源系统中,各种发射器的非均质发射特性借助于粒子光学部件其可藉助MEMS技术生产,为了后续粒子光学成像而校正或预校正。个别粒子束的射束电流可在该多源系统中调整。

本发明授权具有多源系统和多射束粒子显微镜的粒子束系统在权利要求书中公布了:1.一种粒子束系统1,包含: 多源系统500,包含: 粒子多源,设置成通过场发射产生多重带电个别粒子束3; 第一多孔径板521,具有多重第一开口,所述个别粒子束3至少部分通过所述第一开口; 第一多透镜阵列523,包含多重个别可调整粒子透镜,且设置在该第一多孔径板521下游的射束路径中,使得通过该第一多孔径板521的个别粒子束3也通过该第一多透镜阵列523; 第二多孔径板522,具有多重第二开口,设置在该第一多透镜阵列523下游的射束路径中,使得通过该第一多透镜阵列523的个别粒子束3也通过该第二多孔径板522;以及 射束电流限制多孔径板524,具有多重射束电流限制开口,设置在该第二多孔径板522下游的射束路径中,使得所述个别粒子束3部分入射在该射束电流限制多孔径板524上并在那里被吸收,且部分通过该射束电流限制多孔径板524中的开口;以及 第一多偏转器阵列610,所述个别粒子束3通过所述第一多偏转器阵列,且所述第一多偏转器阵列设置在该射束电流限制多孔径板524下游的射束路径中;以及 控制器10,设置成向该第一多透镜阵列523的粒子透镜供应一个别可调整电压,并因此个别调整用于每个别粒子束3的相关联粒子透镜的聚焦,且其中该控制器10进一步设置成向该第一多偏转器阵列610供应个别可调整激发,并且因此个别偏转所述个别粒子束3,使得在中间像平面中的所述个别粒子束之间的节距被影响。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司,其通讯地址为:德国上科亨;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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