苏州跃芯微传感技术有限公司马清杰获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州跃芯微传感技术有限公司申请的专利一种MEMS压力传感器及其的制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113252216B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110710324.4，技术领域涉及：G01L1/18；该发明授权一种MEMS压力传感器及其的制作方法是由马清杰;李静设计研发完成，并于2021-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS压力传感器及其的制作方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种MEMS压力传感器及其的制作方法，MEMS压力传感器包括沿第一方向依次层叠设置的支撑层、绝缘层、N型器件层和P型浓掺杂层；其中，第一方向为支撑层垂直指向P型浓掺杂层的方向；排列在第一平面上的四个条状凸起，沿第一方向，每个条状凸起均包括P型浓掺杂层，第一平面为垂直于第一方向的平面；多个电极，各电极用于各条状凸起接入电信号和输出电信号；各电极和各条状凸起构成惠斯通电桥；支撑层设置有第一腔体，第一腔体与惠斯通电桥之间设置有应变薄膜层。该结构以实现提高压力传感器的灵敏度和稳定性，并减小压力传感器的尺寸。
本发明授权一种MEMS压力传感器及其的制作方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS压力传感器，其特征在于，包括： 沿第一方向依次层叠设置的支撑层、绝缘层、N型器件层和P型浓掺杂层；其中，所述第一方向为所述支撑层垂直指向所述P型浓掺杂层的方向； 排列在第一平面上的四个条状凸起，沿所述第一方向，每个所述条状凸起均至少包括所述P型浓掺杂层，所述第一平面为垂直于所述第一方向的平面；各所述条状凸起均包括压敏电阻部和两个导线部；所述四个条状凸起平行排列，依次包括第一条状凸起、第二条状凸起、第三条状凸起和第四条状凸起；各所述条状凸起均包括第一导线部和第二导线部，所述第一导线部和所述第二导线部对称设置，所述第一导线部和所述第二导线部均相对于对称轴偏移预设距离，用于连接所述压敏电阻部； 多个电极，各所述电极用于各所述条状凸起接入输入电信号和输出电信号；各所述电极和各所述条状凸起构成惠斯通电桥； 所述支撑层设置有第一腔体，所述第一腔体与所述惠斯通电桥之间设置有应变薄膜层。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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