东曹株式会社池村周也获国家专利权
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龙图腾网获悉东曹株式会社申请的专利钛络合物、其制造方法、及含钛薄膜的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115735266B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180045367.3,技术领域涉及:C07F7/28;该发明授权钛络合物、其制造方法、及含钛薄膜的制造方法是由池村周也;尾池浩幸;山本有纪;早川哲平设计研发完成,并于2021-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本钛络合物、其制造方法、及含钛薄膜的制造方法在说明书摘要公布了:本发明提供对于在不使用氧化性气体的低温成膜条件下制造含钛薄膜有用的钛络合物。上述钛络合物由通式1式中,R1及R2各自独立地表示碳原子数1~6的烷基,任选相互键合而形成环。X表示CR3或N原子。Y表示CR4或N原子。Z表示CR5或N原子。R3、R4及R5各自独立地表示氢原子或碳原子数1~6的烷基。n表示1~3的整数。表示。
本发明授权钛络合物、其制造方法、及含钛薄膜的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种钛络合物,其由通式1表示, 式中,R1及R2各自独立地表示碳原子数1~6的烷基,任选相互键合而形成环,X表示CR3或N原子,Y表示CR4或N原子,Z表示CR5或N原子,R3、R4及R5各自独立地表示氢原子或碳原子数1~6的烷基,n表示1~3的整数。
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