杰宜斯科技有限公司孔云获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉杰宜斯科技有限公司申请的专利基板处理装置及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114121756B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110969074.6，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权基板处理装置及基板处理方法是由孔云;宋智勋;文雄助;朴芝镐;崔源锡设计研发完成，并于2021-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基板处理装置和基板处理方法，该基板处理装置包括：旋转卡盘部，以能够旋转的方式设置于驱动部；真空卡盘部，配置于所述旋转卡盘部，并且供晶片放置；环盖部，沿着所述真空卡盘部的外围部配置，以加压所述晶片从而密封所述真空卡盘部的外围部侧；以及卡紧模块，设置于所述旋转卡盘部，以使所述环盖部固定于所述旋转卡盘部。根据本发明，随着卡紧基座的旋转，多个第一卡紧连杆部和多个晶片限制部同时移动，因此可以利用一个卡紧旋转部将晶片限制在真空卡盘部。因此，能够减少设置于卡紧模块的卡紧旋转部的个数。
本发明授权基板处理装置及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，包括： 旋转卡盘部，以能够旋转的方式设置于驱动部； 真空卡盘部，配置于所述旋转卡盘部，并且供晶片放置； 环盖部，沿着所述真空卡盘部的外围部配置，从而密封所述真空卡盘部的外围部侧；以及 可移动卡紧模块，设置于所述旋转卡盘部，以使所述环盖部固定于所述旋转卡盘部， 其中，所述可移动卡紧模块还包括卡紧基座以及多个第一卡紧连杆部，所述卡紧基座设置于所述旋转卡盘部，所述多个第一卡紧连杆部分别以径向的方式连接于所述卡紧基座，并且在所述卡紧基座旋转时移动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杰宜斯科技有限公司，其通讯地址为：韩国京畿道；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号