家登精密工业股份有限公司邱铭乾获国家专利权
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龙图腾网获悉家登精密工业股份有限公司申请的专利具有收容环境检测的基板收容装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114326294B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111073036.9,技术领域涉及:G03F1/66;该发明授权具有收容环境检测的基板收容装置是由邱铭乾;庄家和;薛新民;林韵孜设计研发完成,并于2021-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有收容环境检测的基板收容装置在说明书摘要公布了:本发明揭露一种具有收容环境检测的基板收容装置,具有可拆卸地连接于一外盒的一检测装置,所述检测装置包含一感测部,其具有一感测端、一腔体及一感测器,所述感测部可拆卸地连接于所述外盒,使所述感测端暴露于所述外盒内侧的一容置空间,所述腔体延伸于所述外盒的一外侧和所述容置空间之间并容置所述感测器,所述腔体经由所述感测端流体连接所述外盒的容置空间,藉此让所述感测器读取关于所述容置空间的信息。
本发明授权具有收容环境检测的基板收容装置在权利要求书中公布了:1.一种基板收容装置,其特征在于,具有用于容置一内盒的一外盒及可拆卸地连接于所述外盒的一检测装置,所述内盒用于容置一基板,所述检测装置包含: 一感测部,具有位于所述外盒的一内侧的一感测端、位于所述外盒的一外侧的一连接端,所述感测端及所述连接端彼此可拆卸连接,使该感测部可拆卸连接于该外盒,所述感测端具有一腔体及容置在所述腔体的一感测器,当所述感测部连接于所述外盒时,使所述感测端暴露于所述外盒内侧的一容置空间,所述腔体经由所述感测端流体连接所述外盒的容置空间,藉此让所述感测器读取关于所述容置空间的信息。
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