南昌中微半导体设备有限公司;中微半导体设备(上海)股份有限公司谢振南获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉南昌中微半导体设备有限公司;中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利一种加热器组件及气相沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116356292B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111615369.X，技术领域涉及：C23C16/46；该发明授权一种加热器组件及气相沉积设备是由谢振南;郑振宇设计研发完成，并于2021-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种加热器组件及气相沉积设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种加热器组件及气相沉积设备，所述加热器组件，用于在气相沉积设备中加热晶圆托盘，包括：加热部件，其内部有电流流通时可以对晶圆托盘进行加热；加热部件包括若干个加热弧段；若干个支撑组件，每一支撑组件包括至少一个支撑杆，用于支撑相邻的加热弧段；柔性部件，与支撑杆远离加热弧段的一端连接，用于控制加热弧段的位移及变形方向；导通部件，与相邻的加热弧段和或与支撑杆电连接，用于使电流在相邻的加热弧段之间流通。本发明可以使电流沿导通部件在相邻的加热弧段之间流通，使流经柔性部件的电流较小甚至没有，从而有效降低柔性部件的温度，减小其热蠕变，从而减小加热弧段的变形和位移。
本发明授权一种加热器组件及气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种加热器组件，用于在气相沉积设备中加热晶圆托盘，其特征在于，包括： 加热部件，其内部有电流流通时可以对所述晶圆托盘进行加热；所述加热部件包括若干个加热弧段； 若干个支撑组件，每一所述支撑组件包括至少一个支撑杆，用于支撑相邻的所述加热弧段；柔性部件，与所述支撑杆远离所述加热弧段的一端连接，用于控制所述加热弧段的位移及变形方向； 导通部件，与相邻的所述加热弧段和或与所述支撑杆电连接，用于使电流在相邻的所述加热弧段之间流通；且流经导通部件的电流大于流经柔性部件的电流。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人南昌中微半导体设备有限公司;中微半导体设备(上海)股份有限公司，其通讯地址为：330096 江西省南昌市南昌高新技术产业开发区天祥大道699号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号