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龙图腾网获悉北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利一种图像检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114565585B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210199232.9，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种图像检测方法是由闵珊珊;林佳;魏祥英;杜婷婷;孙邦元;李洪亮;谭胜旺;申淙设计研发完成，并于2022-03-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种图像检测方法在说明书摘要公布了：本申请提供了一种图像检测方法，其中，该方法包括：获取半导体掩膜工件的对准标记图像；从所述对准标记图像中提取至少一个局部图像；针对每个局部图像，确定该局部图像的局部图像检测值；确定所述对准标记图像的全局图像检测值；根据至少一个局部图像检测值和所述全局图像检测值，确定所述对准标记图像的图像质量。本申请即对对准标记图像的全局进行质量评价，又对对准标记图像的对准标记的局部进行图像质量评价，达到准确判断对准标记图像质量的效果。

本发明授权一种图像检测方法在权利要求书中公布了：1.一种图像检测方法，其特征在于，所述方法包括： 获取半导体掩膜工件的对准标记图像，其中，所述对准标记图像包括至少一个对准标记，所述至少一个对准标记为预先设置在所述半导体掩膜工件上的用于对所述半导体掩膜工件进行对准的标记； 从所述对准标记图像中提取至少一个局部图像，其中，每个局部图像中包含对应的一个对准标记； 针对每个局部图像，确定该局部图像的局部图像检测值； 确定所述对准标记图像的全局图像检测值； 根据至少一个局部图像检测值和所述全局图像检测值，确定所述对准标记图像的图像质量； 通过以下方式确定每个局部图像的局部图像检测值：确定该局部图像中的对准标记的边缘线和边缘点；根据所述边缘线和所述边缘点，确定出该局部图像中的对准标记对应的对准标记区域；将该局部图像中对准标记区域之外的区域确定为空白区域；根据对准标记区域的灰度值和空白区域的灰度值，确定该局部图像的局部图像检测值； 每个局部图像检测值包括局部图像对比度值，其中，通过以下步骤确定每个局部图像的局部图像对比度值：确定所述对准标记区域的第一平均灰度值；确定所述空白区域的第二平均灰度值；将该局部图像中的所述对准标记区域的第一平均灰度值和该局部图像中的空白区域的第二平均灰度值的比值，确定为该局部图像的局部图像对比度值； 通过以下公式确定所述对准标记区域的第一平均灰度值： 其中，GrayMeanValue为该局部图像的对准标记区域的图像的第一平均灰度值，fx,y为该局部图像的对准标记区域的图像的每个像素点的灰度值，Areamean为该局部图像的对准标记区域的面积； 通过以下公式确定所述空白区域的第二平均灰度值： 其中，GrayValueouter为该局部图像的空白区域的第二平均灰度值，fx,youter为该局部图像的空白区域的每个像素点的灰度值，Areaouter为该局部图像的空白区域的面积； 与空白区域内的每个像素点相邻的参考像素点包括第一参考像素点和第二参考像素点，所述第一参考像素点为与对应像素点的横坐标相同、纵坐标相邻的像素点；所述第二参考像素点为与对应像素点纵坐标相同，横坐标相邻的像素点；其中，通过以下公式确定出每个局部图像的局部图像清晰度值： 其中，DR为该局部图像的局部图像清晰度值，fxi,yiouter为每个目标像素点的灰度值，fxi+1,yiouter为与每个目标像素点相邻的第一参考像素点的灰度值，fxi,yi+1outer为与每个目标像素点相邻的第二参考像素点的灰度值，m为该局部图像的空白区域内的像素点的个数。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)，其通讯地址为：100176 北京市北京经济技术开发区泰河三街1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。