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龙图腾网获悉北京华卓精科科技股份有限公司申请的专利光栅衍射效率测试装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114720093B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210253223.3，技术领域涉及：G01M11/02；该发明授权光栅衍射效率测试装置及方法是由付大为;王亚兰;刘景涛设计研发完成，并于2022-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本光栅衍射效率测试装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种光栅衍射效率测试装置及方法，涉及光栅衍射效率测量领域，为解决现有光栅衍射效率的扫描范围有限的问题而设计。该光栅衍射效率测试装置包括光源、测量头、移动组件以及用于放置待测光栅的样品台；测量头安装于移动组件，移动组件用于带动测量头在待测光栅的平行平面线性移动，样品台至少具有第一位置和第二位置，第一位置和第二位置具有绕Z向的相位差，Z向垂直于待测光栅；测量头用于接收光源发出的光束并将该光束以设定角度照射至待测光栅，以及接收由待测光栅衍射返回的光束。本发明可实现对待测光栅的全幅面衍射效率测试，有效解决了现有测试装置扫描范围有限的问题。

本发明授权光栅衍射效率测试装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种光栅衍射效率测试装置，其特征在于，包括光源13、测量头16、移动组件以及样品台26，其中，所述样品台26用于放置待测光栅32；所述测量头16安装于所述移动组件，所述移动组件用于带动所述测量头16在所述待测光栅32的平行平面线性移动，所述样品台26至少具有第一位置和第二位置，所述第一位置和所述第二位置具有绕Z向的相位差，所述Z向垂直于所述待测光栅32；所述测量头16用于接收所述光源13发出的光束并将该光束以设定角度照射至所述待测光栅32，以及接收由所述待测光栅32衍射返回的光束；所述光栅衍射效率测试装置还包括功率计表头22和计算机24，所述测量头16与所述功率计表头22电连接，所述功率计表头22与所述计算机24电连接；所述测量头16包括接收部、分束箱36和光能量探测部，所述接收部用于接收所述光源13发出的光束，所述分束箱36的内部设置有镜组，所述镜组用于将所述接收部接收到的光束以设定角度照射至所述待测光栅32，所述光能量探测部用于接收由所述待测光栅32衍射返回的光束；所述镜组包括第一偏振分光棱镜33、第二偏振分光棱镜34和分束棱镜35，所述光能量探测部包括第一光能量探测器18、第二光能量探测器19和第三光能量探测器20，其中，所述第一偏振分光棱镜33用于将所述接收部接收到的光束进行分束得到P偏振态光和S偏振态光；所述分束棱镜35能够对所述P偏振态光进行分束，所述P偏振态光经所述分束棱镜35分束后的沿直线传输的光束入射至所述第一光能量探测器18，所述P偏振态光经所述分束棱镜35分束后的反射光以所述设定角度入射至所述待测光栅32，所述第二光能量探测器19被配置为接收由所述待测光栅32衍射返回的P偏振态光；所述分束棱镜35还能够对所述S偏振态光进行分束，所述S偏振态光经所述分束棱镜35分束后的沿直线传输的光束入射至所述第一光能量探测器18，所述S偏振态光经所述分束棱镜35分束后的反射光以所述设定角度入射至所述待测光栅32，所述第三光能量探测器20被配置为接收由所述待测光栅32衍射返回的S偏振态光。

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