细美事有限公司卢尚垠获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利用于处理基板的装置和用于处理基板的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115598938B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210806773.3，技术领域涉及：G03F7/30；该发明授权用于处理基板的装置和用于处理基板的方法是由卢尚垠;金大城;张镐镇设计研发完成，并于2022-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于处理基板的装置和用于处理基板的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及用于处理基板的装置和用于处理基板的方法。用于处理基板的装置包括：第一工艺腔室，在该第一工艺腔室中具有第一处理空间；第二工艺腔室，在该第二工艺腔室中具有第二处理空间；以及排放单元，该排放单元被配置为将该第一处理空间和该第二处理空间的气氛排放，其中，该排放单元包括：集成式排放管线，减压单元安装在该集成式排放管线中；第一排放管线，该第一排放管线被配置为连接该第一工艺腔室和该集成式排放管线的第一点；第二排放管线，该第二排放管线被配置为连接该第一工艺腔室和该集成式排放管线的第二点；以及干扰减轻单元，该干扰减轻单元被配置为减轻该第一工艺腔室与该第二工艺腔室之间的排放干扰。
本发明授权用于处理基板的装置和用于处理基板的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的装置，所述装置包括： 第一工艺腔室，在所述第一工艺腔室中具有第一处理空间； 第二工艺腔室，在所述第二工艺腔室中具有第二处理空间；以及 排放单元，所述排放单元被配置为将所述第一处理空间和所述第二处理空间的气氛排放， 其中，所述排放单元包括： 集成式排放管线，减压单元安装在所述集成式排放管线中， 第一排放管线，所述第一排放管线被配置为连接所述第一工艺腔室和所述集成式排放管线的第一点， 第二排放管线，所述第二排放管线被配置为连接所述第一工艺腔室和所述集成式排放管线的第二点，以及 干扰减轻单元，所述干扰减轻单元被配置为减轻所述第一工艺腔室与所述第二工艺腔室之间的排放干扰； 其中，所述干扰减轻单元包括排出单元，所述排出单元定位在所述第一排放管线连接到的所述第一点与所述第二排放管线连接到的所述第二点之间、在所述集成式排放管线中，以将所述集成式排放管线中的一些气流排出到所述集成式排放管线的外部。
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