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龙图腾网获悉河南工业大学申请的专利碳化硅晶圆的精加工装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115816287B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210854660.0，技术领域涉及：B24B37/10；该发明授权碳化硅晶圆的精加工装置及方法是由班新星;李运鹤;孟汝浩;段天旭;栗正新;王星;邱慧设计研发完成，并于2022-07-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本碳化硅晶圆的精加工装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种碳化硅晶圆的精加工装置及方法。该精加工装置包括CMP部件、光催化部件和超声部件，相当于在原有的CMP装置的基础上，增加超声振动装置和光催化装置，形成了一种全新的多方法复合抛光精加工装置，填补了碳化硅晶圆高效高质加工装备的国内空白，有助于优化碳化硅晶圆的加工流程，缩短加工周期。本发明提供的精加工方法将超声振动、光催化与化学机械抛光相结合，光催化辅助的目的主要是提高抛光过程中的化学作用，可有效解决碳化硅晶圆高效高质加工难题，同时提高碳化硅晶圆的加工效率和加工精度，从而有利于降低碳化硅晶圆的生产成本，提升加工质量，加速推进碳化硅基半导体的工程化应用进程。

本发明授权碳化硅晶圆的精加工装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅晶圆的精加工装置，其特征在于：包括CMP部件、光催化部件、超声部件和基础支撑框架，其中， 所述CMP部件包括抛光轴构件、抛光液供给系统以及安装在所述抛光轴构件上方的抛光加压构件，所述抛光液供给系统包括为所述抛光轴构件提供抛光液的供液管； 所述光催化部件包括悬空设置在所述抛光轴构件的上方的光源，该光源与所述抛光轴构件同轴设置，所述供液管的出口端设置在所述光源与抛光垫之间； 所述超声部件包括安装在所述抛光加压构件中的超声主轴，该超声主轴与所述抛光加压构件同轴设置； 所述基础支撑框架包括加工床身、立柱和横梁，所述加工床身上安装有所述CMP部件，所述立柱安装在所述加工床身上，所述横梁安装在所述立柱上，所述光催化部件、抛光加压构件和超声部件安装在所述横梁上； 所述抛光加压构件包括工件轴驱动电机、加压组件、工件溜板和工件轴导轨丝杠副，其中，所述工件轴驱动电机、超声主轴以及加压组件同轴设置，且所述超声主轴设置于所述工件轴驱动电机和加压组件之间，所述工件溜板通过所述工件轴导轨丝杠副安装在所述横梁上，所述加压组件包括位于底部并用于固定工件的载物盘；所述超声部件还包括将所述超声主轴安装在所述工件溜板上的超声主轴安装座。

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