三河建华高科有限责任公司邢莹获国家专利权
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龙图腾网获悉三河建华高科有限责任公司申请的专利一种洁净环境用晶圆传输机器人获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115157227B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210954414.2，技术领域涉及：B25J9/04；该发明授权一种洁净环境用晶圆传输机器人是由邢莹;王超;李松阳设计研发完成，并于2022-08-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种洁净环境用晶圆传输机器人在说明书摘要公布了：本发明公开了一种洁净环境用晶圆传输机器人，包括支撑底座，所述支撑底座的上表面转动连接有转动座，所述转动座的输出端安装有机械臂模块，所述机械臂模块的输出端安装有固定架和固定环，所述固定架的底部固定安装有吸附罩，所述吸附罩的底部滑动连接有底部滑板，所述固定环的底部固定安装有固定板，所述固定板的内底部固定安装有电动推杆。本发明所述的一种洁净环境用晶圆传输机器人，电动推杆将底部连接板推出至底部滑板的下方，使折叠网兜展开平铺在底部滑板的正下方，底部滑板上吸附的晶圆在传输过程中掉落时，下方的折叠网兜对掉落的晶圆进行接住，以避免负压气泵吸附力度不够导致吸附的晶圆在传输过程中掉落地面损失。
本发明授权一种洁净环境用晶圆传输机器人在权利要求书中公布了：1.一种洁净环境用晶圆传输机器人，包括支撑底座（1），其特征在于：所述支撑底座（1）的上表面转动连接有转动座（3），所述转动座（3）的输出端安装有机械臂模块（5），所述机械臂模块（5）的输出端安装有固定架（6）和固定环（13），所述固定架（6）的底部固定安装有吸附罩（8），所述吸附罩（8）的底部滑动连接有底部滑板（9），所述固定环（13）的底部固定安装有固定板（10），所述固定板（10）的内底部固定安装有电动推杆（11），所述电动推杆（11）的输出端固定安装有底部连接板（12），所述固定板（10）与底部连接板（12）之间固定安装有折叠网兜（14），所述底部滑板（9）的内底部固定安装有指示灯架（16），所述指示灯架（16）设置为十字型，所述固定架（6）的上表面固定安装有负压气泵（7），展开后的所述折叠网兜（14）位于底部滑板（9）的正下方。
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