芝浦机械电子装置株式会社古矢正明获国家专利权
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龙图腾网获悉芝浦机械电子装置株式会社申请的专利供给装置、供给系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115810563B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211095050.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权供给装置、供给系统是由古矢正明;小林浩秋;森秀树设计研发完成，并于2022-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本供给装置、供给系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种使向基板处理装置供给的处理液的液温稳定的供给装置、供给系统。供给装置包括：回收罐，从基板处理装置回收处理液并进行加热；及供给罐，向基板处理装置供给在回收罐中加热的处理液。回收罐包括：回收容器，贮存处理液；第一分隔板，将回收容器分隔成从基板处理装置导入处理液的第一区域、以及向供给罐导入处理液的第二区域；配管，将导入至第一区域的处理液向第二区域送出；第一加热器，设置在配管的路径上；及送出配管，将利用第一加热器加热的第二区域的处理液向供给罐送出。供给罐包括：供给容器，贮存从回收罐送出的处理液；供给配管，向基板处理装置供给贮存在供给容器中的处理液；及第二加热器，设置在供给配管的路径上。
本发明授权供给装置、供给系统在权利要求书中公布了：1.一种供给装置，其特征在于，包括： 回收罐，从基板处理装置回收处理液并进行加热；以及 供给罐，与所述回收罐连接，向所述基板处理装置供给在所述回收罐中加热的所述处理液， 其中，所述回收罐包括： 回收容器，贮存所述处理液； 第一分隔板，将所述回收容器分隔成从所述基板处理装置导入所述处理液的第一区域、以及向所述供给罐导入所述处理液的第二区域； 配管，将导入至所述第一区域的所述处理液向所述第二区域送出； 第一加热器，设置在所述配管的路径上，对所述处理液进行加热；以及 送出配管，将利用所述第一加热器加热的所述第二区域的所述处理液向所述供给罐送出， 所述供给罐包括： 供给容器，贮存从所述回收罐送出的所述处理液； 供给配管，向所述基板处理装置供给贮存在所述供给容器中的所述处理液；以及 第二加热器，设置在所述供给配管的路径上，对所述处理液进行加热。
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