广东长信精密设备有限公司陈子秋获国家专利权
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龙图腾网获悉广东长信精密设备有限公司申请的专利机械臂以及晶圆搬运机器人获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116423487B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211093845.0,技术领域涉及:B25J9/12;该发明授权机械臂以及晶圆搬运机器人是由陈子秋;吴伟平;邹展设计研发完成,并于2022-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本机械臂以及晶圆搬运机器人在说明书摘要公布了:提供一种机械臂以及晶圆搬运机器人。机械臂包括肩部、第一伸缩臂、第二伸缩臂、手指安装座、手指、肩关节轴、肘关节轴及腕关节轴;肩关节轴设在肩部和第一伸缩臂之间,肘关节轴设在第一伸缩臂和第二伸缩臂之间,腕关节轴设在第二伸缩臂和手指安装座之间,手指固定于手指安装座;肩部能驱动第一伸缩臂及肘关节轴围绕肩关节轴正向旋转;第一伸缩臂及肘关节轴围绕肩关节轴旋转能带动第二伸缩臂及腕关节轴围绕肘关节轴反向旋转;第二伸缩臂及腕关节轴围绕肘关节轴反向旋转能带动手指安装座及手指围绕腕关节轴正向旋转;肩部驱动采用纯齿轮驱动;肩关节轴和肘关节轴之间经齿轮连接;肘关节轴和腕关节轴之间经齿轮连接。晶圆搬运机器人包括机械臂。
本发明授权机械臂以及晶圆搬运机器人在权利要求书中公布了:1.一种机械臂100,其特征在于, 机械臂100包括肩部1、第一伸缩臂2、第二伸缩臂3、手指安装座4、手指5、肩关节轴6、肘关节轴7以及腕关节轴8; 肩关节轴6设置在肩部1和第一伸缩臂2之间, 肘关节轴7设置在第一伸缩臂2和第二伸缩臂3之间, 腕关节轴8设置在第二伸缩臂3和手指安装座4之间, 手指5固定于手指安装座4; 肩部1能够驱动第一伸缩臂2以及肘关节轴7围绕肩关节轴6正向旋转; 第一伸缩臂2以及肘关节轴7围绕肩关节轴6的旋转能够带动第二伸缩臂3以及腕关节轴8围绕肘关节轴7反向旋转; 第二伸缩臂3以及腕关节轴8围绕肘关节轴7的反向旋转能够带动手指安装座4以及手指5围绕腕关节轴8正向旋转; 其中, 肩部1的驱动采用纯齿轮驱动; 肩关节轴6和肘关节轴7之间经由齿轮连接; 肘关节轴7和腕关节轴8之间经由齿轮连接; 肩部1包括肩板11、驱动电机12、手臂驱动齿轮13、肩部轴承14以及肩部活动齿轮15, 肩板11包括肩水平板111,肩关节轴6立设并固定于肩水平板111,肩关节轴6和肩水平板111相对彼此不动, 驱动电机12包括主体121和输出轴122,主体121固定于肩水平板111,主体121和肩水平板111相对彼此不动,输出轴122从主体121向上延伸,输出轴122能够围绕其自身的轴线在水平面内旋转, 手臂驱动齿轮13固定安装于驱动电机12的输出轴122,手臂驱动齿轮13能够随着驱动电机12的输出轴122的旋转而与驱动电机12的输出轴122同向地旋转, 肩部轴承14安装在肩关节轴6的下部上, 肩部活动齿轮15安装在肩部轴承14上,肩部活动齿轮15与手臂驱动齿轮13啮合,以在手臂驱动齿轮13的驱动下与手臂驱动齿轮13的旋转方向相反地围绕肩关节轴6旋转; 第一伸缩臂2包括手臂21、肩部固定齿轮22、手臂中间齿轮23、第一轴承24以及肘部活动齿轮25, 手臂21包括手臂水平板211,手臂水平板211位于肩部活动齿轮15的上方并在上下方向D1上与肩部活动齿轮15固定在一起,手臂水平板211开设有沿上下方向D1贯通的第一通孔211a,肩关节轴6向上穿过第一通孔211a,肘关节轴7固定于手臂水平板211且向上延伸,肘关节轴7和手臂水平板211相对彼此不动, 肩部固定齿轮22位于手臂水平板211的上方且固定于肩关节轴6,肩部固定齿轮22和肩关节轴6相对彼此不动, 手臂中间齿轮23设置在手臂水平板211上,手臂中间齿轮23能够自转,手臂中间齿轮23与肩部固定齿轮22啮合, 第一轴承24安装在肘关节轴7的下部; 肘部活动齿轮25安装在第一轴承24上,肘部活动齿轮25与手臂中间齿轮23啮合以使手臂中间齿轮23位于肘部活动齿轮25和肩部固定齿轮22之间; 第二伸缩臂3包括手肘31、肘部固定齿轮32、手肘中间齿轮33、第二轴承34以及腕部活动齿轮35, 手肘31包括手肘水平板311,手肘水平板311位于肘部活动齿轮25的上方,手肘水平板311在上下方向D1上固定于肘部活动齿轮25,手肘水平板311开设有沿上下方向D1贯通的第二通孔311a,肘关节轴7向上延伸穿过手肘水平板311的第二通孔311a,腕关节轴8固定于手肘水平板311且向上延伸,腕关节轴8和手肘水平板311相对彼此不动, 肘部固定齿轮32位于手肘水平板311的上方并固定于肘关节轴7,肘部固定齿轮32和肘关节轴7相对彼此不动, 手肘中间齿轮33设置在手肘水平板311上,手肘中间齿轮33能够自转,手肘中间齿轮33与肘部固定齿轮32啮合, 第二轴承34安装在腕关节轴8上, 腕部活动齿轮35安装在第二轴承34上,腕部活动齿轮35与手肘中间齿轮33啮合以使手肘中间齿轮33位于腕部活动齿轮35和肘部固定齿轮32之间。
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