浙江盾源聚芯半导体科技有限公司祝建敏获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江盾源聚芯半导体科技有限公司申请的专利一种硅部件清洗设备及清洗工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115609488B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211498196.2,技术领域涉及:B24C1/08;该发明授权一种硅部件清洗设备及清洗工艺是由祝建敏;姜平;李长苏;刘志彪设计研发完成,并于2022-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅部件清洗设备及清洗工艺在说明书摘要公布了:本发明涉及硅舟领域,特别地,涉及一种硅部件清洗设备及清洗工艺,用于清洗硅舟,包括机架,所述机架上设有擦拭布,所述机架上还设有用于支撑所述擦拭布的气囊,所述气囊连接有用于对所述气囊充气的气泵,所述气囊沿沟棒的沟齿的排列方向阵列设有多个,所述机架上还设有用于推动所述擦拭布与所述气囊贴合的拉绳,所述拉绳位于相邻的两个所述气囊之间,所述拉绳与所述擦拭布抵压,所述擦拭布连接有用于驱动所述擦拭布沿所述气囊的阵列方向移动的驱动组件;本发明目的是克服现有技术的不足而提供一种硅部件清洗设备及清洗工艺,可在减少硅舟清洗过程中的应力的前提下完成对硅齿不同压力作用下的清洗。
本发明授权一种硅部件清洗设备及清洗工艺在权利要求书中公布了:1.一种硅部件清洗设备,用于清洗硅舟的沟棒40,包括机架10,其特征在于,所述机架10上设有用于支撑擦拭布20的气囊21,所述气囊21连接有用于对所述气囊21充气的气泵,所述气囊21上设有擦拭布20,所述气囊21沿沟棒40的沟齿的排列方向阵列设有多个,两个所述气囊21之间设有拉绳25,所述拉绳25位于所述擦拭布20的上侧抵压所述擦拭布20以使所述擦拭布20与所述气囊21贴合,所述擦拭布20连接有用于驱动所述擦拭布20沿所述气囊21的阵列方向移动的驱动组件。
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