西安奕斯伟材料科技有限公司张舸获国家专利权
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龙图腾网获悉西安奕斯伟材料科技有限公司申请的专利用于线切割硅棒的装置、设备、硅片及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115890940B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211700925.8,技术领域涉及:B28D5/04;该发明授权用于线切割硅棒的装置、设备、硅片及其制造方法是由张舸设计研发完成,并于2022-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于线切割硅棒的装置、设备、硅片及其制造方法在说明书摘要公布了:本发明实施例公开了用于线切割硅棒的装置、设备、硅片及其制造方法,所述装置包括:线轴本体;设置在所述线轴本体的周向外侧的导引模块,所述导引模块包括彼此平行且间隔开的多个导引槽,用于供切割线缠绕以形成彼此平行的多个切割线段组成的阵列,所述阵列用于通过沿所述切割线的延伸方向的运动将硅棒一次性切割成多个硅片;设置在所述线轴本体与所述导引模块之间的减振模块,所述减振模块用于在线切割操作过程中吸收所述导引模块受到的振动。
本发明授权用于线切割硅棒的装置、设备、硅片及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种用于线切割硅棒的装置,其特征在于, 所述装置包括: 线轴本体; 设置在所述线轴本体的周向外侧的导引模块,所述导引模块包括彼此平行且间隔开的多个导引槽,用于供切割线缠绕以形成彼此平行的多个切割线段组成的阵列,所述阵列用于通过沿所述切割线的延伸方向的运动将硅棒一次性切割成多个硅片; 设置在所述线轴本体与所述导引模块之间的减振模块,所述减振模块用于在线切割操作过程中吸收所述导引模块受到的振动; 其中,所述减振模块包括设置在所述线轴本体的周向表面上的多个减振器,每个减振器包括一个或更多个弹簧,并且所述减振器以可拆卸的方式安装在所述线轴本体的周向表面上。
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