浙江大学李寅睿获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种白光干涉仪快速准焦方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116202415B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310227216.0,技术领域涉及:G01B9/02055;该发明授权一种白光干涉仪快速准焦方法是由李寅睿;梁宜勇设计研发完成,并于2023-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种白光干涉仪快速准焦方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种白光干涉仪快速准焦方法,包括:粗准焦,步进电机沿靠近样品的正方向按第一精度步长移动,每次移动采集一张图片,根据能量梯度函数算法计算每张图片的清晰度,并记录最大清晰度值;细准焦,步进电机沿正方向按第二精度步长移动,根据能量梯度函数算法和改进的EAV点锐度算法记录每张图片清晰度及其最大值对应的位置;精准焦,压电陶瓷驱动器沿反方向按第三精度步长移动,根据改进的EAV点锐度算法记录每张图片清晰度及其最大值,经判断后确定准焦位置。本发明利用步进电机和压电陶瓷驱动器实现分级准焦,并补偿步进电机回退的误差;用能量梯度函数和改进的EAV点锐度算法评价图像的清晰度,实现快速、高精度、大搜索范围的自动准焦。
本发明授权一种白光干涉仪快速准焦方法在权利要求书中公布了:1.一种白光干涉仪快速准焦方法,其特征在于,该方法基于白光干涉光学系统来实现;所述白光干涉光学系统安装在步进电机上,包括白光光源、匀光片、照明物镜、分光镜、管镜、CCD相机、Mirau物镜;所述Mirau物镜还与一个压电陶瓷驱动器固连,由所述压电陶瓷驱动器带动所述Mirau物镜单独沿其光轴运动;所述白光干涉仪快速准焦方法包括以下步骤: S1:开启所述白光光源,并将样品放置在Mirau物镜的视野正对处; S2:粗准焦;所述步进电机沿靠近样品的正方向按第一精度步长移动,每移动一次CCD相机采集一张图片;根据能量梯度函数算法计算每张图片的清晰度S1i,i=1,2,3,…,并记录当前清晰度的最大值为S1max;若S1i-S1i-1>0.1,则开始下一步;反之,则重复步骤S2; S3:细准焦;所述步进电机沿靠近样品的正方向按第二精度步长移动,每移动一次CCD相机采集一张图片;根据能量梯度函数算法计算并记录每张图片的清晰度S1i、当前清晰度的最大值S1max,并记录S1max的位置hmax;根据改进后的EAV点锐度算法,计算每张图片的清晰度S2i,并记录当前最大的清晰度S2max;若0.9S1max≤S1i≤S1max且距离hmax位置移动超过10步,或S1i0.9S1max,所述步进电机回退到hmax位置并开始下一步;反之,则重复步骤S3; 所述改进后的EAV点锐度算法的表达式如下: 式中,x为图像横向像素点的编号,y为图像纵向像素点的编号,f函数表示该点的光强,M为图像的像素行数,N为图像的像素列数; S4:精准焦;所述步进电机保持不动,压电陶瓷驱动器沿远离样品的反方向按第三精度步长移动,每移动一次CCD相机采集一张图片;根据改进后的EAV点锐度算法计算并记录每张图片的清晰度S2i和S2max;若当前S2i大于S2max,则压电陶瓷驱动器继续沿反方向移动,直到连续两张图片的清晰度S2i-1和S2i均小于S2max,此时压电陶瓷驱动器回到记录S2max的位置;若当前S2i小于等于S2max,则判断S2i是否小于0.98S2max,若是,则重复步骤S4;反之,则压电陶瓷驱动器保持不动,完成快速准焦。
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