武汉大学魏耕获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉大学申请的专利轴向多阴极真空镀膜设备及复合梯度镀膜的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116875939B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310863652.7，技术领域涉及：C23C14/04；该发明授权轴向多阴极真空镀膜设备及复合梯度镀膜的方法是由魏耕;向兀;柳成荫;李健设计研发完成，并于2023-07-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本轴向多阴极真空镀膜设备及复合梯度镀膜的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了轴向多阴极真空镀膜设备及复合梯度镀膜的方法，在多阴极靶头上设有一个中心电极和若干个侧边电极，中心电极位于多阴极靶头的中心处，侧边电极围绕着中心电极设置；中心电极连接着中心靶材丝，侧边电极连接着侧边靶材丝，中心靶材丝沿着管道中心线设置，侧边靶材围绕着中心靶材螺旋设置；中心靶材和侧边靶材由若干带孔的陶瓷组件连接；中心电极与第一溅射电源连接，侧边电极与第二溅射电源连接。不仅解决了部分合金靶材丝无法加工而使用的问题，同时也能在镀膜的过程中保证薄膜的成分、膜厚和结构的横向、轴向均匀性，且调节薄膜的组分比例。
本发明授权轴向多阴极真空镀膜设备及复合梯度镀膜的方法在权利要求书中公布了：1.轴向多阴极真空镀膜设备，其特征在于，包括样品管道，在样品管道的外部设有电磁铁，在样品管道的顶部设有多阴极靶头，在多阴极靶头上设有一个中心电极和若干个侧边电极，中心电极位于多阴极靶头的中心处，侧边电极围绕着中心电极设置；中心电极连接着中心靶材丝，侧边电极连接着侧边靶材丝，中心靶材丝沿着管道中心线设置，侧边靶材围绕着中心靶材螺旋设置；中心靶材和侧边靶材由若干带孔的陶瓷组件连接；中心电极与第一溅射电源连接，侧边电极与第二溅射电源连接，样品管道的顶部与偏压电源连接；样品管道的底部与真空过渡腔连接，真空过渡腔上设有气体管道、抽气管道、真空管道，真空过渡腔还分别与第一溅射电源、第二溅射电源、偏压电源连接。
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