浙江新唐实业有限公司张明伟获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江新唐实业有限公司申请的专利一种镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223074242U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202322022008.5,技术领域涉及:C23C14/34;该实用新型一种镀膜设备是由张明伟;姚伊奇;唐建中设计研发完成,并于2023-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种镀膜设备在说明书摘要公布了:本申请公开了一种镀膜设备,包括涂层腔室,所述涂层腔室内设有涂层区,所述涂层腔室设置为a个,所述涂层区设置为a*N个,其中a为2‑4的自然数,N为2‑4的自然数。本申请镀膜设备,可以根据需要进行多靶材镀膜。
本实用新型一种镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种镀膜设备,包括涂层腔室3,其特征在于,所述涂层腔室3内设有涂层区,所述涂层腔室3设置为a个,所述涂层区设置为a*N个,其中a为2-4的自然数,N为2-4的自然数,所述涂层腔室3至少包括顺次连接的缓冲区和溅射区两个涂层区,所述缓冲区与所述涂层腔室3的入口连接,当a大于等于2时,每个所述溅射区内的靶材的材质不相同。
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