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龙图腾网获悉安徽光智科技有限公司申请的专利改善氟化镧膜层表面裂纹的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117026170B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311068932.5，技术领域涉及：C23C14/26；该发明授权改善氟化镧膜层表面裂纹的方法是由戴辉;王星星;刘克武;尹士平;王俊设计研发完成，并于2023-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本改善氟化镧膜层表面裂纹的方法在说明书摘要公布了：一种改善氟化镧膜层表面裂纹的方法包括步骤：S1，将氟化镧料掺入氧化钇料形成混料，氧化钇料占0.2％‑1.0％；S2，将混料放入蒸发舟内，盖上盖子，盖子具有通孔；S3，将工件盘加热至150‑300℃并维持恒定，S4，将镀膜室抽真空并维持在3.0×10‑3Pa以下；S5，电阻加热将蒸发舟内的混料预热，预热采用分步间隔加热，分步间隔加热每步加热后保温，预热的最终温度设定为在所维持的真空下的氟化镧的蒸发温度的80±5％；S6，步骤S5的预热结束后，镀膜室通入氩气并维持镀膜室的真空度在1.0×10‑2Pa，继续电阻加热蒸发镀膜，采用分段间隔镀膜，每段镀膜200‑300nm厚度后停顿，累积镀膜厚度达到1000nm以上为止；S7，在步骤S6完成后20‑40min后，阶梯降温；S8，取出工件盘连同工件盘上的镀膜。

本发明授权改善氟化镧膜层表面裂纹的方法在权利要求书中公布了：1.一种改善氟化镧膜层表面裂纹的方法，其特征在于，包括步骤： S1，将氟化镧料掺入氧化钇料形成混料，以氟化镧料和氧化钇料总质量计，氧化钇料占0.2％-1.0％； S2，将混料放入真空蒸发镀膜机100的镀膜室1中的蒸发舟2内，盖上盖子3，盖子3具有连通蒸发舟2内外的通孔31； S3，将镀膜室1中的工件盘4加热至150-300℃并维持恒定， S4，将镀膜室1抽真空并维持在3.0×10-3Pa以下； S5，电阻加热将蒸发舟2内的混料预热，预热采用分步间隔加热，分步间隔加热每步加热后保温，预热的最终温度设定为在所维持的真空下的氟化镧的蒸发温度的80±5％； S6，步骤S5的预热结束后，镀膜室1通入氩气并维持镀膜室1的真空度在1.0×10- 2Pa，继续电阻加热蒸发舟2内的混料直到混料蒸发并通过盖子3上的通孔31向工件盘4蒸发镀膜，蒸发镀膜采用分段间隔镀膜，每段镀膜200-300nm厚度后停顿，累积镀膜厚度达到1000nm以上为止，电阻加热蒸发舟2停止，在步骤S5的预热结束后至电阻加热蒸发舟2停止前一直维持镀膜室1的真空度在1.0×10-2Pa； S7，步骤S6完成后，停止镀膜室1通入氩气并维持镀膜室1在3.0×10-3Pa以下，在步骤S6完成后20-40min后，控制工件盘4从维持恒定的温度阶梯降温； S8，阶梯降温之后，从镀膜室1中取出工件盘4连同工件盘4上的镀膜。

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