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湖北九峰山实验室朱厉阳获国家专利权

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龙图腾网获悉湖北九峰山实验室申请的专利一种化合物异质结p型晶体管及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117894832B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311827977.6,技术领域涉及:H10D30/47;该发明授权一种化合物异质结p型晶体管及其制备方法是由朱厉阳;李明哲;彭若诗;徐少东;袁俊设计研发完成,并于2023-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

一种化合物异质结p型晶体管及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种化合物异质结p型晶体管及其制备方法,属于半导体器件技术领域。该p型晶体管包括衬底和依次叠加的缓冲层、第一沟道层、势垒层、第二沟道层形成的位于衬底上的有源区;第二沟道层的上层刻蚀有用于沉积栅极的栅极沟槽,源极和漏极位于栅极两侧;从栅极沟槽开口周围的第二沟道层上表面沿着栅极沟槽的侧壁至其底部紧邻侧壁的位置设置有与源、漏极均形成欧姆接触的欧姆金属层;源、漏极与第二沟道层的上表面、栅极与栅极沟槽的底部均通过第一介质层隔离;栅极与欧姆金属层之间设置有第二介质层;第二沟道层为p型氧化物层或和p型氮化物层。该p型晶体管的结构能有效减小器件尺寸,提高其电流能力、开关速度和沟道中的空穴迁移率。

本发明授权一种化合物异质结p型晶体管及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种化合物异质结p型晶体管,其特征在于,由下至上依次包括衬底、缓冲层、第一沟道层、势垒层、第二沟道层,以及源极、漏极和栅极;所述缓冲层的上层、所述第一沟道层、所述势垒层、所述第二沟道层形成有源区,所述有源区周围为无源区;在所述有源区,所述第二沟道层背离所述势垒层的一侧刻蚀有栅极沟槽,所述栅极设置于所述栅极沟槽内,所述源极和所述漏极位于所述栅极两侧;从所述栅极沟槽开口周围的第二沟道层上表面沿着所述栅极沟槽的侧壁至所述栅极沟槽的底部紧邻侧壁的位置设置有欧姆金属层,所述源极和所述漏极均与所述第二沟道层形成欧姆接触;所述源极与所述第二沟道层的上表面之间、所述漏极与所述第二沟道层的上表面之间、所述栅极与所述栅极沟槽的底部内表面之间均设置有第一介质层;所述栅极与所述欧姆金属层之间设置有第二介质层;所述第二沟道层的材料为p型氧化物或p型氮化物。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人湖北九峰山实验室,其通讯地址为:430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区九龙湖街9号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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