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环晟光伏(江苏)有限公司蒋富辉获国家专利权

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龙图腾网获悉环晟光伏(江苏)有限公司申请的专利一种太阳能电池的制备方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118136732B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410275032.6,技术领域涉及:H10F71/00;该发明授权一种太阳能电池的制备方法及系统是由蒋富辉;马擎天;陈曙鑫设计研发完成,并于2024-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。

一种太阳能电池的制备方法及系统在说明书摘要公布了:本申请公开了一种太阳能电池的制备方法及系统,应用于太阳能电池技术领域,用以解决现有技术中存在的无法监控隧穿氧化层的制备情况的问题。具体为:在电池片上形成隧穿氧化层;测量第一厚度数据,根据第一厚度数据确定的隧穿氧化层的质量数据;确定隧穿氧化层的质量数据满足第一质量要求时,在隧穿氧化层上形成非晶硅层;测量第二厚度数据,根据第二厚度数据确定非晶硅层的质量数据;确定非晶硅层的质量数据满足第二质量要求时,依次进行退火晶化处理、清洗制绒处理、表面钝化处理以及金属化处理,以得到太阳能电池。这样,在隧穿氧化层与非晶硅层的制备工序分离的基础上,实现隧穿氧化层和非晶硅层的制备情况的监控,减少低效片的产生。

本发明授权一种太阳能电池的制备方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括: 利用LPCVD机台,采用热氧化的方式在电池片上形成隧穿氧化层; 测量所述电池片上形成的隧穿氧化层的第一厚度数据,根据多个所述第一厚度数据确定的所述隧穿氧化层的质量数据;其中,所述质量数据包括厚度和或均匀性数据; 确定所述隧穿氧化层的质量数据满足第一质量要求时,利用PECVD机台,在所述隧穿氧化层上形成非晶硅层; 测量所述电池片上形成的非晶硅层的第二厚度数据,根据多个所述第二厚度数据确定所述非晶硅层的质量数据; 确定所述非晶硅层的质量数据满足第二质量要求时,对已形成非晶硅层的电池依次进行退火晶化处理、清洗制绒处理、表面钝化处理以及金属化处理,以得到太阳能电池; 其中,所述根据所述第二厚度数据确定所述非晶硅层的质量数据,包括: 在已形成非晶硅层的电池片的预设位置进行测量,得到预设数量的第二厚度数据; 基于预设数量的第二厚度数据的平均值确定所述非晶硅层的厚度; 基于预设数量的第二厚度数据中的最大值、最小值以及第二厚度数据的平均值确定所述非晶硅层的均匀性数据;确定所述隧穿氧化层的均匀性数据的公式如下: 其中,Y2为非晶硅层的均匀性数据,X2max为第二厚度数据中的最大值,X2min为第二厚度数据中的最小值,X2ave第二厚度数据的平均值。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人环晟光伏(江苏)有限公司,其通讯地址为:214200 江苏省无锡市宜兴市宜兴经济技术开发区文庄路20号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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