深圳市智佳能自动化有限公司张昆明获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市智佳能自动化有限公司申请的专利一种晶圆盒提升机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223079109U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420700236.5,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种晶圆盒提升机是由张昆明;陈海星;陈国聪;郭前程;周鑫;龙宇;陈海峰设计研发完成,并于2024-04-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆盒提升机在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种晶圆盒提升机,包括用于支撑和连接的框架,框架的高度方向上分别设有晶圆盒的输入口及输出口,在输入口及输出口处均安装有自动门装置,输出口处安装有用于晶圆盒输出的输出输送线,框架内滑动安装有提升轿厢,框架底部安装有驱动提升轿厢上下滑动的驱动组件,框架内还安装有支撑提升轿厢滑动的导轨。采用本实用新型技术方案,能够实现小型晶圆盒的高效、安全且无尘的提升输送,实用性强。
本实用新型一种晶圆盒提升机在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒提升机,其特征在于,包括用于支撑和连接的框架,所述框架的高度方向上分别设有晶圆盒的输入口及输出口,在所述输入口及输出口处均安装有自动门装置,所述输出口处安装有用于晶圆盒输出的输出输送线,所述框架内滑动安装有提升轿厢,所述框架底部安装有驱动所述提升轿厢上下滑动的驱动组件,所述框架内还安装有支撑所述提升轿厢滑动的导轨。
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