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龙图腾网获悉扬州新鹏能源科技有限公司申请的专利一种多清洗池单晶硅片清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223079075U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421543449.8，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种多清洗池单晶硅片清洗装置是由何其金;田晓军;何其亮;徐小萍;于文敏;王海峰;赵秋设计研发完成，并于2024-07-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多清洗池单晶硅片清洗装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种多清洗池单晶硅片清洗装置，包括清洗箱、多个盖门以及多个多级电动推杆，清洗箱具有多个清洗池，多个盖门与多个多级电动推杆数量相同且一一对应，多级电动推杆能够驱动对应的盖门移动，盖门能够封闭清洗池。本申请的清洗装置，双盖板以及多级电动推杆的设计，使得装置的整体宽度降低，从而节约占地。多级电动推杆两端铰接，配合两个滑槽以及行走轮处的连接弹簧，使得盖门开闭操作更加顺滑，减少运行时的精度要求。缓冲板、弹性垫的设置，可以增加缓冲效果，避免猛烈撞击，从而更好地保护上、下盖板。

本实用新型一种多清洗池单晶硅片清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种多清洗池单晶硅片清洗装置，其特征在于，包括清洗箱、多个盖门以及多个多级电动推杆，所述清洗箱具有多个清洗池，多个盖门与多个多级电动推杆数量相同且一一对应，所述多级电动推杆能够驱动对应的盖门移动，所述盖门能够封闭清洗池，所述盖门包括上盖板和位于上盖板下方的下盖板，所述清洗箱的顶部安装有与多级电动推杆的固定端铰接的第一铰接座，所述上盖板的顶部安装有与多级电动推杆的活动端铰接的第二铰接座，所述下盖板靠近第一铰接座的一端连接有端部限位板，所述端部限位板的两端均连接有安装板，安装板通过连接弹簧连接有行走轮架，所述行走轮架安装有行走轮，所述上盖板的两侧具有上滑轨，下盖板的两侧具有下滑轨，所述清洗池内具有与上滑轨配合的上滑槽以及与下滑轨配合的下滑槽，所述上盖板处具有端部安装块，所述端部安装块处安装有缓冲单元，所述缓冲单元包括第一缓冲板、第二缓冲板以及连接第一、二缓冲板的导杆，所述端部安装块具有与导杆配合的导孔，所述第一缓冲板与端部安装块之间连接有第一弹簧，第二缓冲板与端部安装块之间连接有第二弹簧，所述下盖板处具有能够抵接第一缓冲板的第一端部限位块以及能够抵接第二缓冲板的第二端部限位块。

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