江苏乐为真空科技有限公司吴娟获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏乐为真空科技有限公司申请的专利一种真空镀膜用侧引弧机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223074240U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421695360.3，技术领域涉及：C23C14/22；该实用新型一种真空镀膜用侧引弧机构是由吴娟;刘文生;关秉羽设计研发完成，并于2024-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空镀膜用侧引弧机构在说明书摘要公布了：本实用新型属于真空镀膜引弧技术领域，具体涉及一种真空镀膜用侧引弧机构，其中包括基座和靶材，所述基座的外部套接有转动盘，所述转动盘的右端固定安装有端盖；所述转动盘的左侧固定安装有旋转盘，且旋转盘套接于基座的外侧，所述基座的一侧固定安装有旋转气缸，所述旋转气缸的输出端固定连接有转杆，所述转杆的一端固定有拉针，所述转动盘的内侧开设有槽口，所述拉针位于槽口内，所述转动盘的内部设置有通孔，且转杆穿插于通孔内，所述旋转盘的左侧固定安装有两根引弧杆，该装置解决了当前真空镀膜用侧引弧机构无法对靶材的侧面进行引弧，而是对靶材正面进行引弧，从而导致引弧过程中靶材表面产生小凸点影响表面质量的问题。
本实用新型一种真空镀膜用侧引弧机构在权利要求书中公布了：1.一种真空镀膜用侧引弧机构，包括基座（1）和靶材，其特征在于：所述基座（1）的外部套接有转动盘（2），所述转动盘（2）的右端固定安装有端盖（3）； 所述转动盘（2）的左侧固定安装有旋转盘（4），且旋转盘（4）套接于基座（1）的外侧，所述基座（1）的一侧固定安装有旋转气缸（5），所述旋转气缸（5）的输出端固定连接有转杆（6），所述转杆（6）的一端固定有拉针（7），所述转动盘（2）的内侧开设有槽口（8），所述拉针（7）位于槽口（8）内。
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