珠海广浩捷科技股份有限公司肖赖发获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海广浩捷科技股份有限公司申请的专利一种基于光致发光的硅片隐裂检测的装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223078200U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421721935.4,技术领域涉及:G01N21/88;该实用新型一种基于光致发光的硅片隐裂检测的装置是由肖赖发设计研发完成,并于2024-07-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于光致发光的硅片隐裂检测的装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种基于光致发光的硅片隐裂检测的装置,包括输送流线、激光激发机构和红外相机机构,激光激发机构包括安装支架和安装在安装支架上的激光激发组件,红外相机机构安装在安装支架上,且位于激光激发组件的上方;激光激发组件的两端均通过光源固定臂与安装支架转动连接。激光激发组件通过光源固定臂与安装支架转动连接,使激光激发组件上的激光光源可绕X轴摆动调整光源照射角,光源调节仅有一个调节变量简化了成像调节工作;同时基于光致发光原理,利用激光激发组件发出特定波长的激光作为激发光源,红外相机机构进行感光、成像,判断样片是否存在隐裂缺陷,使得成像更加简易,缺陷参数检测可靠精确。
本实用新型一种基于光致发光的硅片隐裂检测的装置在权利要求书中公布了:1.一种基于光致发光的硅片隐裂检测的装置,其特征在于:包括输送流线1、激光激发机构2和红外相机机构3,所述激光激发机构2包括安装支架4和安装在所述安装支架4上的激光激发组件5,所述安装支架4的两侧分别安装在所述输送流线1的两侧,所述红外相机机构3安装在所述安装支架4上,且位于所述激光激发组件5的上方;所述激光激发组件5的两端均通过光源固定臂6与所述安装支架4转动连接。
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