昊石新材料科技南通有限公司张志豪获国家专利权
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龙图腾网获悉昊石新材料科技南通有限公司申请的专利一种具有耐磨和抗氧化的碳化硅石墨载盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223079087U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421722682.2，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型一种具有耐磨和抗氧化的碳化硅石墨载盘是由张志豪;董发;陆伟志设计研发完成，并于2024-07-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有耐磨和抗氧化的碳化硅石墨载盘在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种具有耐磨和抗氧化的碳化硅石墨载盘，涉及石墨载盘技术领域，包括载盘本体，所述载盘本体上设置有载盘口，所述载盘口的内部设置有固定架，所述固定架的内部连接有载盘，所述载盘的内部开设有载盘槽，所述载盘本体、固定架和载盘的外表面均设置有耐磨和抗氧化涂层。本实用新型利用通过在载盘本体上设置有载盘口用于安装固定架和载盘，使用时载盘口大于载盘，使得载盘本体可上下连通，进而在多个载盘本体叠加放置时，可以方便热量从载盘口流通，进而使得该装置可叠加放置多层结构，以提高加工效率，固定架和载盘可拆卸，可根据实际情况选择不同数量载盘，进而可提高该装置使用灵活性，提高该装置的适用范围。
本实用新型一种具有耐磨和抗氧化的碳化硅石墨载盘在权利要求书中公布了：1.一种具有耐磨和抗氧化的碳化硅石墨载盘，包括载盘本体1，其特征在于：所述载盘本体1上设置有载盘口2，所述载盘口2的内部设置有固定架3，所述固定架3的内部连接有载盘4，所述载盘4的内部开设有载盘槽5，所述载盘本体1、固定架3和载盘4的外表面均设置有耐磨和抗氧化涂层6。
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