中微半导体设备(上海)股份有限公司范光伟获国家专利权
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龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利一种阻抗调节装置及等离子体处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223079069U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421757175.2，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种阻抗调节装置及等离子体处理设备是由范光伟设计研发完成，并于2024-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种阻抗调节装置及等离子体处理设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种阻抗调节装置及等离子体处理设备，阻抗调节装置设置在一真空的反应腔内，反应腔内包含用于放置晶圆的基座，包括：边缘电极环，围绕基座并与基座电绝缘，边缘电极环的底部设有第一导电部；边缘电极环馈电组件，电性连接在边缘电极环与偏置射频电源之间，边缘电极环馈电组件的顶部包括与第一导电部位置对应的第二导电部；若干个导电的弹性装置，所述弹性装置弹性电连接设置在所述第一导电部与所述第二导电部之间，用于实现边缘电极环与边缘电极环馈电组件之间稳定的电接触。
本实用新型一种阻抗调节装置及等离子体处理设备在权利要求书中公布了：1.一种阻抗调节装置，设置在一真空的反应腔内，所述反应腔内包含用于放置晶圆的基座，其特征在于，包括： 边缘电极环，围绕所述基座并与所述基座电绝缘；所述边缘电极环的底部设有第一导电部； 边缘电极环馈电组件，电性连接在所述边缘电极环与偏置射频电源之间；所述边缘电极环馈电组件的顶部包括与所述第一导电部位置对应的第二导电部； 若干个导电的弹性装置，所述弹性装置弹性电连接设置在所述第一导电部与所述第二导电部之间，用于实现边缘电极环与边缘电极环馈电组件之间稳定的电接触。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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