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星隆科技(江苏)有限公司朱万杰获国家专利权

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龙图腾网获悉星隆科技(江苏)有限公司申请的专利一种自动晶圆撕膜机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223079077U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421798219.6,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种自动晶圆撕膜机构是由朱万杰设计研发完成,并于2024-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

一种自动晶圆撕膜机构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆制造技术领域,具体涉及一种自动晶圆撕膜机构,包括底座与晶圆本体,晶圆本体表面贴附有薄膜,底座顶部设置有拱形支架,所述晶圆本体通过限位组件设置在底座顶部,所述拱形支架上设置有用于将薄膜从晶圆本体表面撕下的撕膜组件,本实用新型的有益效果是:只需简单结构即可对晶圆本体进行有效限位,从而使得薄膜受到撕拉力时,晶圆本体与薄膜能够有效分离,达到撕膜效果,有效降低成本。

本实用新型一种自动晶圆撕膜机构在权利要求书中公布了:1.一种自动晶圆撕膜机构,包括底座1与晶圆本体2,晶圆本体2表面贴附有薄膜3,底座1顶部设置有拱形支架4,其特征在于:所述晶圆本体2通过限位组件设置在底座1顶部,所述拱形支架4上设置有用于将薄膜3从晶圆本体2表面撕下的撕膜组件。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人星隆科技(江苏)有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市苏州工业园区东旺路8号7号楼A幢1层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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