珠海广浩捷科技股份有限公司张天华获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海广浩捷科技股份有限公司申请的专利一种硅片上下脏污检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223078206U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421807824.5，技术领域涉及：G01N21/95；该实用新型一种硅片上下脏污检测装置是由张天华;陈康;肖赖发设计研发完成，并于2024-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片上下脏污检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种硅片上下脏污检测装置，包括基板以及输送线，基板上设有输送线，硅片置于输送线上。输送线的上方设有上检测组件，输送线的下方设有下检测组件，上检测组件以及下检测组件均与基板固定连接，上检测组件以及下检测组件的垂直方向上均设有滑动连接的相机组件。相机组件包括检测相机、横向调节滑块、高度调节滑块；横向调节滑块与高度调节滑块滑动连接，高度调节滑块的水平方向上设有螺纹连接的调节螺丝，调节螺丝的一端穿过高度调节滑块并与横向调节滑块接触。本装置组成简单，成像准确，便于调试，可以提升工作效率。
本实用新型一种硅片上下脏污检测装置在权利要求书中公布了：1.一种硅片上下脏污检测装置，包括基板4以及输送线1，所述基板4上设有所述输送线1，硅片5置于所述输送线1上，其特征在于：所述输送线1的上方设有上检测组件2，所述输送线1的下方设有下检测组件3，所述上检测组件2以及所述下检测组件3均与所述基板4固定连接，所述上检测组件2以及所述下检测组件3的垂直方向上均设有滑动连接的相机组件6；所述相机组件6包括检测相机601、横向调节滑块604、高度调节滑块603；所述横向调节滑块604与所述高度调节滑块603滑动连接，所述高度调节滑块603的水平方向上设有螺纹连接的调节螺丝606，所述调节螺丝606的一端穿过所述高度调节滑块603并与所述横向调节滑块604接触。
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