无锡琨圣芯成科技有限公司李鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡琨圣芯成科技有限公司申请的专利一种可拆卸晶圆清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223070038U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421886988.1，技术领域涉及：B08B3/04；该实用新型一种可拆卸晶圆清洗装置是由李鹏;王佳伟;曹刚设计研发完成，并于2024-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可拆卸晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种可拆卸晶圆清洗装置，包括：基架、清洗结构和移动结构，清洗结构可拆卸地安装在基架上，清洗结构用于清洗晶圆，清洗结构的下方设有第一组装组件；移动结构包括移动轮和第二组装组件，第二组装组件安装在移动轮的顶端，第二组装组件装配在第一组装组件上以将移动轮安装在清洗结构的底端。此结构的通过在清洗结构的下方设置一个第一组装组件，以及外置的第二组装组件，当需要对旧的清洗结构进行更换时，可以通过上述步骤进行更换，再将旧的清洗结构移出时更方便且省力。
本实用新型一种可拆卸晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种可拆卸晶圆清洗装置，其特征在于，包括： 基架1； 清洗结构2，所述清洗结构2可拆卸地安装在所述基架1上，所述清洗结构2用于清洗所述晶圆，所述清洗结构2的下方设有第一组装组件31； 其中，还包括移动结构3，所述移动结构3包括移动轮33和第二组装组件32，所述第二组装组件32安装在所述移动轮33的顶端，所述第二组装组件32装配在所述第一组装组件31上以将所述移动轮33安装在所述清洗结构2的底端。
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