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广东长信精密设备有限公司陈子秋获国家专利权

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龙图腾网获悉广东长信精密设备有限公司申请的专利一种裂片机构及晶圆解理机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223071694U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421898077.0,技术领域涉及:B28D5/00;该实用新型一种裂片机构及晶圆解理机是由陈子秋;邹展;张庆;吴伟平设计研发完成,并于2024-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。

一种裂片机构及晶圆解理机在说明书摘要公布了:本申请公开了一种裂片机构及晶圆解理机,涉及半导体制造技术领域,包括支撑机构、驱动机构、裂片件、压件以及弹性组件;支撑机构用于承载晶圆;驱动机构与裂片件连接,用于带动裂片件压抵晶圆上位于划切口一侧的待解理部,使其完成裂片;压件通过弹性组件弹性滑动安装于压件上;弹性组件用于提供压件压抵晶圆上位于划切口另一侧的主体部的弹性作用力;在驱动机构带动裂片件往压低待解理部的方向运动时,压件先于裂片件接触晶圆。解决了现有滚轮式列片机构设计存在的解理良率不稳定、容易刮伤晶圆以及解理面质量较差的技术问题。

本实用新型一种裂片机构及晶圆解理机在权利要求书中公布了:1.一种裂片机构,其特征在于,包括支撑机构(8)、驱动机构(2)、裂片件(3)、压件(4)以及弹性组件(5); 所述支撑机构(8)用于承载晶圆(7); 所述驱动机构(2)与所述裂片件(3)连接,用于带动所述裂片件(3)压抵所述晶圆(7)上位于划切口一侧的待解理部,使其完成裂片; 所述压件(4)通过弹性组件(5)弹性滑动安装于所述压件(4)上; 所述弹性组件(5)用于提供所述压件(4)压抵所述晶圆(7)上位于划切口另一侧的主体部的弹性作用力; 在所述驱动机构(2)带动所述裂片件(3)往压低所述待解理部的方向运动时,所述压件(4)先于所述裂片件(3)接触所述晶圆(7)。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广东长信精密设备有限公司,其通讯地址为:511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号设备间;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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