爱特微(张家港)半导体技术有限公司尹锺晚获国家专利权
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龙图腾网获悉爱特微(张家港)半导体技术有限公司申请的专利一种半导体加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223079113U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421936358.0，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种半导体加工设备是由尹锺晚;金恩泽;胡县中;吴耀辉;缪新海;李承浩设计研发完成，并于2024-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体加工设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体加工技术领域，且公开了一种半导体加工设备。包括底板和支架，所述支架固定连接在底板的上表面，所述底板的内部转动连接有转轴，所述转轴的顶端固定连接有转盘，所述支架的顶端内壁固定连接有气缸，所述气缸的活塞杆端部固定连接有连接板。本实用新型提供的电机的输出轴转动带动小齿轮转动同时带动与小齿轮啮合设置的大齿轮转动，大齿轮转动可以带动转轴和转盘转动，小齿轮带动大齿轮转动为减速传动更省力，可以减少电机输出轴转动时的阻力，将半导体材料放置在凹槽的内部在转盘转动时，可以对半导体材料进行调整处理，在半导体加工的同时对半导体材料进行装卸更换，不会影响加工效率。
本实用新型一种半导体加工设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体加工设备，包括底板1和支架2，其特征在于：所述支架2固定连接在底板1的上表面，所述底板1的内部转动连接有转轴3，所述转轴3的顶端固定连接有转盘4，所述支架2的顶端内壁固定连接有气缸6，所述气缸6的活塞杆端部固定连接有连接板7，所述底板1的底部固定连接有固定架8，所述固定架8的内部固定连接有电机9，所述转盘4的顶端内壁环绕开设有多个凹槽，所述转盘4位于凹槽的内壁开设有条形槽，所述转盘4位于条形槽的内壁转动连接有双向丝杆12，所述双向丝杆12的杆壁上螺纹连接有滑块13，所述滑块13的顶端铰接设有顶杆14，所述顶杆14背离滑块13的一端铰接设置有移动板15，所述固定架8的内部设有减速机构。
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