天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体科技股份有限公司张牧翔获国家专利权
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龙图腾网获悉天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体科技股份有限公司申请的专利一种清洗槽及具有该清洗槽的清洗机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223070039U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421961808.1,技术领域涉及:B08B3/04;该实用新型一种清洗槽及具有该清洗槽的清洗机是由张牧翔;徐小占;杨飞龙;王坤;徐化祥;刘松松设计研发完成,并于2024-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种清洗槽及具有该清洗槽的清洗机在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种清洗槽及具有该清洗槽的清洗机,涉及硅片清洗技术领域,包括内槽体、外槽体、匀流管和循环回流管,其中,内槽体的底部倾斜设置,内槽体的顶部设置溢流口;外槽体位于内槽体的外侧,外槽体与内槽体通过溢流口连通,外槽体的底部设置排液凹槽;匀流管设置于内槽体的内部,匀流管上设置匀流孔;循环回流管的一端与匀流管连接,另一端能够通过连接管路连接排液凹槽,使内槽体与外槽体之间形成循环回路,本实用新型的有益效果是洁净度更高,排液效率更好、循环稳定性和均一性更好,配合超声使用超声清洁效果也更好。
本实用新型一种清洗槽及具有该清洗槽的清洗机在权利要求书中公布了:1.一种清洗槽,其特征在于,包括: 内槽体,所述内槽体的底部倾斜设置,所述内槽体的顶部设置溢流口; 外槽体,位于所述内槽体的外侧,所述外槽体与所述内槽体通过所述溢流口连通,所述外槽体的底部设置排液凹槽; 匀流管,设置于所述内槽体的内部,所述匀流管上设置匀流孔; 循环回流管,一端与所述匀流管连接,另一端能够通过连接管路连接所述排液凹槽,使所述内槽体与所述外槽体之间形成循环回路。
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