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龙图腾网获悉广州增芯科技有限公司申请的专利测量金属层和通孔套刻精度的电性测试结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223079126U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421970807.3，技术领域涉及：H01L23/544；该实用新型测量金属层和通孔套刻精度的电性测试结构是由余忠宁;吴方锐;杨林荣;康小磊;孙九龙;焦志强设计研发完成，并于2024-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本测量金属层和通孔套刻精度的电性测试结构在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种测量金属层和通孔套刻精度的电性测试结构，包括第一测试结构和第二测试结构；第一测试结构和第二测试结构均包括第一金属层、第二金属层、通孔和测试焊盘；第一测试结构第二测试结构中的第二金属层第一金属层呈梳状形状，包含若干第二金属梳齿第一金属梳齿；第二金属梳齿第一金属梳齿上间隔排布若干通孔；第一金属层第二金属层至少包含若干间隔排布的第一金属条第二金属条，通孔设置于相邻的第一金属条第二金属条之间；且第二金属梳齿第二金属梳齿中至少有两处不同位置的通孔与靠近的第一金属条第二金属条之间的间距按预设规则设置。该方案解决了如何准确全面地测量通孔、上层金属线与下层金属线对准偏差的问题。

本实用新型测量金属层和通孔套刻精度的电性测试结构在权利要求书中公布了：1.一种测量金属层和通孔套刻精度的电性测试结构，其特征在于，包括： 第一测试结构和第二测试结构； 所述第一测试结构和第二测试结构均包括第一金属层、第二金属层、通孔和测试焊盘；所述通孔位于所述第一金属层和所述第二金属层之间，所述第二金属层位于所述第一金属层之上；所述测试焊盘在所述第二金属层之上分别连接所述第一金属层和所述第二金属层；其中， 所述第一测试结构中，所述第二金属层呈梳状形状，包含若干第二金属梳齿；所述第二金属梳齿上间隔排布若干所述通孔；所述第一金属层至少包含若干间隔排布的第一金属条，所述通孔设置于相邻的所述第一金属条之间；至少有两处不同位置所述通孔与靠近的所述第一金属条之间的间距按预设规则设置； 所述第二测试结构中，所述第一金属层呈梳状形状，包含若干第一金属梳齿；所述第一金属梳齿上间隔排布若干所述通孔；所述第二金属层至少包含若干间隔排布的第二金属条，所述通孔设置于相邻的所述第二金属条之间；至少有两处不同位置所述通孔与靠近的所述第二金属条之间的间距按预设规则设置。

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