长川科技(苏州)有限公司刘桂林获国家专利权
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龙图腾网获悉长川科技(苏州)有限公司申请的专利吸附载台结构及晶圆检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223079105U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421970617.1，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型吸附载台结构及晶圆检测装置是由刘桂林;吴灿;王坤;雷传;杜振东;孟恒;程真进设计研发完成，并于2024-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本吸附载台结构及晶圆检测装置在说明书摘要公布了：本申请涉及晶圆检测技术领域，提供了一种吸附载台结构及晶圆检测装置。该吸附载台结构至少包括具有中心轴线的叉台组，叉台组包括至少两个绕所述中心轴线间隔布置的吸附叉台；每个吸附叉台均构造有限位台阶，限位台阶具有台阶面，每组吸附叉台于各自对应的台阶面构造有吸附槽，且限位台阶和吸附槽均绕中心轴线呈弧形设置。本申请提供的吸附载台结构能够保证晶圆在载台上被有效吸附定位，减小偏移量。
本实用新型吸附载台结构及晶圆检测装置在权利要求书中公布了：1.一种吸附载台结构，其特征在于，所述吸附载台结构100至少包括叉台组10，所述叉台组10具有中心轴线，并包括至少两个绕所述中心轴线间隔布置的吸附叉台11； 每个所述吸附叉台11均构造有限位台阶111，所述限位台阶111具有台阶面1111，每组所述吸附叉台11于各自对应的所述台阶面1111构造有吸附槽112，且所述限位台阶111和所述吸附槽112均绕所述中心轴线呈弧形设置。
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