中微半导体设备(上海)股份有限公司朱荣帅获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利一种半导体处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223079079U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421972974.1，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种半导体处理设备是由朱荣帅;张海龙;莱纳德·刘;姜勇;叶佳晨设计研发完成，并于2024-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体处理设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种半导体处理设备，包括：反应腔，其包括腔体和设置于所述腔体顶部的腔盖；所述反应腔的内部空间分为多个反应单元；基座，设置于每一所述反应单元内，用于承载基片；维护口，设置于所述腔体的侧壁上并贯穿所述腔体的侧壁的内表面和外表面；且通过所述维护口执行清洁所述反应单元及所述基座的动作；密封板，位于所述维护口的外侧，与所述腔体的侧壁固定连接，用于打开或关闭所述维护口。本实用新型能够在不开腔的情况下对反应腔的内部及其内部安装的部件进行清理，以提高反应腔的维护效率以及基片的工艺处理结果的均匀性。
本实用新型一种半导体处理设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体处理设备，其特征在于，包括： 反应腔，其包括腔体和设置于所述腔体顶部的腔盖；所述反应腔的内部空间分为多个反应单元； 基座，设置于每一所述反应单元内，用于承载基片； 维护口，设置于所述腔体的侧壁上并贯穿所述腔体的侧壁的内表面和外表面；且通过所述维护口执行清洁所述反应单元及所述基座的动作； 密封板，位于所述维护口的外侧，与所述腔体的侧壁固定连接，用于打开或关闭所述维护口。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中微半导体设备(上海)股份有限公司，其通讯地址为：201201 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号