苏州德龙激光股份有限公司赵裕兴获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州德龙激光股份有限公司申请的专利带纠偏的晶圆贴膜台装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223079078U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421962920.7，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型带纠偏的晶圆贴膜台装置是由赵裕兴;王乾宝设计研发完成，并于2024-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本带纠偏的晶圆贴膜台装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种带纠偏的晶圆贴膜台装置，包括贴膜机构和贴膜载台机构，在贴膜机构的底部前端设置有贴膜载台机构；贴膜载台机构从上往下依次包括纠偏执行机构和纠偏横移机构。本实用新型能够根据检测传感器实时监控膜在辊轴上移动过程中，是否发生偏移；本实用新型通过贴膜台纠偏机构进行纠偏运动，确保每个膜贴在晶圆和钢环的合适位置。
本实用新型带纠偏的晶圆贴膜台装置在权利要求书中公布了：1.带纠偏的晶圆贴膜台装置，包括贴膜机构（1）和贴膜载台机构，在所述贴膜机构（1）的底部前端设置有贴膜载台机构；其特征在于：所述贴膜载台机构从上往下依次包括纠偏执行机构（4）和纠偏横移机构（5）； 所述纠偏执行机构（4）从下往上依次包括贴膜台底板（401）、执行滑动板（404）和贴膜台，在所述执行滑动板（404）上的右侧开设有执行电机安装槽，在所述执行电机安装槽下方的贴膜台底板（401）上通过执行电机固定板（407）安装有执行丝杆电机（408），所述执行丝杆电机（408）左侧的驱动端驱动左侧的执行活动板（405）在左右方向上移动，所述执行活动板（405）与执行电机安装槽内的左侧相连接，所述执行滑动板（404）通过若干个执行侧板组件与上方的贴膜台相连接； 所述纠偏横移机构（5）包括横移丝杠电机（501）、丝杆（506）和底部支撑板（508），所述横移丝杠电机（501）通过横移电机支撑座（502）安装在底部支撑板（508）的后端，所述丝杆（506）通过丝杆后支撑座（505）和丝杆前支撑座（509）沿着前后方向安装在底部支撑板（508）上，所述横移丝杠电机（501）前端的驱动端通过联轴器（504）与丝杆（506）相连接，所述丝杆（506）通过丝杆滑块与上方的贴膜台底板（401）相连接。
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