买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉兰州大学申请的专利一种二维半导体材料杂质在线检测系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223078239U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421993077.9，技术领域涉及：G01N27/626；该实用新型一种二维半导体材料杂质在线检测系统是由陈林;张军亮;翁杨慧;王小刚;韩晨曦;毛溢彬;郭艳玲设计研发完成，并于2024-08-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种二维半导体材料杂质在线检测系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体检测技术领域，其目的在于提供了一种二维半导体材料杂质在线检测系统，包括主分析靶室和换样靶室；进样系统包括与换样靶室相连的磁力耦合传送杆和与主分析靶室相连的机械手；样品处理系统包括激光退火装置和位于主分析靶室内的样品架；与主分析靶室相连的Ar+离子枪系统；与主分析靶室相连的飞行时间探测器；数据获取系统包括核电子学系统，用于将探测到的信号转化为电信号传输至计算机上。本实用新型通过主分析靶室、换样靶室、进样系统、样品处理系统、Ar+离子枪系统、飞行时间探测器与核电子学系统之间的配合，实现了数据动态采集和分析，解决了现有常规表面分析方法无法无损检测二维半导体材料杂质H元素的问题。

本实用新型一种二维半导体材料杂质在线检测系统在权利要求书中公布了：1.一种二维半导体材料杂质在线检测系统，其特征在于，包括： 主分析靶室2：所述主分析靶室2用于二维半导体材料的杂质检测和样品退火处理； 换样靶室1：所述换样靶室1与主分析靶室2相连通，用于在不破坏主分析靶室2的真空条件下快速更换样品； 进样系统：所述进样系统包括与所述换样靶室1相连的磁力耦合传送杆11和与所述主分析靶室2相连的机械手8； 样品处理系统：所述样品处理系统包括与所述主分析靶室2相连的四维操纵杆、位于主分析靶室2内与四维操纵杆相连的样品架3，以及位于所述主分析靶室2上观察窗7处的激光退火装置； Ar+离子枪系统：所述Ar+离子枪系统包括与所述主分析靶室2相连的Ar+离子枪9； 飞行时间探测器6：所述飞行时间探测器6与主分析靶室2相连，用于测量散射粒子和反冲粒子的飞行时间谱； 数据获取系统：所述数据获取系统包括核电子学系统5，核电子学系统5用于将飞行时间探测器6探测到的信号转化为电信号传输至计算机4上。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人兰州大学，其通讯地址为：730000 甘肃省兰州市城关区天水南路222号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。