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龙图腾网获悉中国南方电网有限责任公司超高压输电公司广州局;许继电气股份有限公司;西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司申请的专利半导体芯片光刻胶掩蔽质量检查装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223078208U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422020555.4，技术领域涉及：G01N21/95；该实用新型半导体芯片光刻胶掩蔽质量检查装置是由赖桂森;谢桂泉;方苏;罗宇航;徐晟;王晨涛;苏国磊;张朝辉;苏杰和;凌永兴;焦石;杨学广;陶敏;甘卿忠;徐涵;黄永瑞;邵珠柯;高山城;刘玲;李翀设计研发完成，并于2024-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体芯片光刻胶掩蔽质量检查装置在说明书摘要公布了：一种半导体芯片光刻胶掩蔽质量检查装置，为了解决现有技术容易漏检，造成生产制造过程缺陷，严重影响产品质量，造成成品率不高，而且简易的放大镜检查装置生产效率低下的问题，本实用新型包括支架、操作台，操作台上设有支架，支架上设有水平定位设备、视频器；水平定位设备上方设有自动旋转设备，自动旋转设备上方设有载片平台，载片平台上方设有视频器，所述操作台上设有调节控制器，通过本实用新型的设计，本实用新型可以清楚、快速、准确地检查出结终端造形区台面缺陷点，然后对有缺陷点进行修补，使结终端造形区台面在酸碱液腐蚀前完好无缺，可见，该装置既提高了工作效率，又提高了产品质量，取得了显著的经济和社会效益。

本实用新型半导体芯片光刻胶掩蔽质量检查装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体芯片光刻胶掩蔽质量检查装置，包括支架5、操作台，所述操作台上设有支架5，其特征在于：还包括载片平台1、自动旋转设备2、水平定位设备3、调节控制器4、视频器6、大屏幕投影设备7，所述支架5上设有水平定位设备3、视频器6；所述水平定位设备3上方设有自动旋转设备2，所述自动旋转设备2上方设有载片平台1，所述载片平台1上方设有视频器6，所述操作台上设有调节控制器4； 所述支架5包括底座51、横梁54、竖梁56，所述底座51一端与横梁54一端通过竖梁56连接，所述横梁54另一端设有视频器通孔55，所述视频器通孔55内设有视频器6，所述底座51上设有自动旋转设备2； 所述自动旋转设备2为长方体金属盒，所述自动旋转设备2中心设有传动凸轴21，所述自动旋转设备2内部设有旋转电机22，所述传动凸轴21与旋转电机22连接，所述旋转电机22设有电源插孔a23与数据线插孔a24； 所述载片平台1中心底部设有浅孔12，载片平台1上表面为底部平坦，边缘设有一圈凸棱13的圆柱体，所述浅孔12连接传动凸轴21； 所述视频器6包括视频器外径64，所述视频器外径64为圆柱状结构，所述视频器外径64顶部设有电源接线柱66与数据接线插孔65，所述视频器外径64内设有多重放大凸透镜62，所述视频器外径64外侧设有焦距调节旋钮63，所述视频器外径64底部外侧设有照明电源61，数据接线插孔65连接大屏幕投影设备7； 所述水平定位设备3内顶部设有卡位装置a31，所述水平定位设备3的内部靠上中部的侧壁上通过卡位装置a31设有横向丝杠32，所述水平定位设备3内底部中心设有卡位装置b38，所述水平定位设备3内靠中下部侧壁上通过卡位装置b38设有纵向丝杠36，所述水平定位设备3的顶板与水平定位设备3之间设有水平方向的轨道34，所述水平定位设备3的底板与水平定位设备3之间设有竖直方向的轨道34，所述纵向丝杠36与横向丝杠32都设有传动电机33，所述传动电机33设有电源插孔b331、数据线插孔b332； 所述调节控制器4为长方体金属盒，内部设有单片机电路板PLC-MOED1和PLC-MOED2，所述单片机电路板PLC-MOED1的数据线接口port1与数据线插孔a24连接；所述单片机电路板PLC-MOED2的数据线接口port2、port3与数据线插孔b332连接；外部设有接线柱a41、接线柱b42，所述接线柱a41、接线柱b42分别连接单片机电路板PLC-MOED1和PLC-MOED2用以通电。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国南方电网有限责任公司超高压输电公司广州局;许继电气股份有限公司;西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司，其通讯地址为：510000 广东省广州市黄埔区科学城科学大道223号2号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。