江苏微导纳米科技股份有限公司郭新兴获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利一种硅烷尾气处理装置及镀膜系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223076934U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422027461.X,技术领域涉及:F23G7/06;该实用新型一种硅烷尾气处理装置及镀膜系统是由郭新兴;陈程;韩明新设计研发完成,并于2024-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅烷尾气处理装置及镀膜系统在说明书摘要公布了:本申请涉及一种硅烷尾气处理装置及镀膜系统,其中,硅烷尾气处理装置包括依次连通设置的第一管路、驱动泵、第二管路和尾气燃烧部;第二管路设有温度检测部件和压力检测部件;第一管路设有第一阀件。该硅烷尾气处理装置能够在对硅烷尾气进行处理的同时,保证安全性。
本实用新型一种硅烷尾气处理装置及镀膜系统在权利要求书中公布了:1.一种硅烷尾气处理装置,其特征在于,包括依次连通设置的第一管路(1)、驱动泵(2)、第二管路(3)和尾气燃烧部(4); 所述第二管路(3)设有温度检测部件(6)和压力检测部件(7); 所述第一管路(1)设有第一阀件(11)。
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